[實用新型]一種陰極電弧靶的接線端

有效

• 申請號: 202222676169.1
• 申請日: 2022-10-12
• 公開（公告）號: CN218059172U
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發明（設計）人: 張文錄;江鳶飛
• 申請（專利權）人: 深圳市崗川涂層科技有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種陰極電弧靶的接線端，包括水平放置的底座和用于固定接線的接線裝置，所述接線裝置包括設于底座上的固定板、設于固定板上的電弧靶、設于固定板上的陰極電弧線、開設于電弧靶上的沉積坑、設于底座下的固定座、設于固定座下的固定塊、設于固定塊上的固定螺栓、開設于固定塊與固定座之間的接線槽、開設于固定塊與固定座之間的保護槽，所述保護槽與接線槽聯通，該實用新型通過設置固定螺栓、固定塊、陰極電弧線、接線槽、保護槽、固定部、固定孔、安裝套、底座、安裝套、保護套、絕緣層、延長套、保護墊的配合使用，解決了陰極電弧靶的接線不穩，易損傷連接線所造成陰極電弧靶的供電問題引發不必要的財務損失的問題。

技術領域

本實用新型屬于陰極電弧靶技術領域，尤其涉及一種陰極電弧靶的接線端。

背景技術

陰極電弧靶，離化率高，離子流密度大，離子流能量高，沉積速率快，膜基結合力好，利用固體靶材，沒有熔池，靶材可以任意位置安裝以保證鍍膜均勻，可以沉積金屬膜、合金膜，也可以反應鍍合成各種化合物膜（氮化物、碳化物、氧化物），甚至可以合成DLC膜、CNx膜等，設備操作簡單，技術易于推廣，但是陰極電弧靶的接線不穩，易損傷連接線，造成陰極電弧靶的供電問題引發不必要的財務損失，現有技術存在的問題是：陰極電弧靶的接線不穩，易損傷連接線所造成陰極電弧靶的供電問題引發不必要的財務損失。

發明內容

針對現有技術存在的問題，本實用新型提供了一種陰極電弧靶的接線端，具備連接線固定保護的優點，解決了現有陰極電弧靶的接線不穩，易損傷連接線所造成陰極電弧靶的供電問題引發不必要的財務損失的問題。

本實用新型是這樣實現的，一種陰極電弧靶的接線端，包括水平放置的底座和用于固定接線的接線裝置，所述接線裝置包括設于底座上的固定板、設于固定板上的電弧靶、設于固定板上的陰極電弧線、開設于電弧靶上的沉積坑、設于底座下的固定座、設于固定座下的固定塊、設于固定塊上的固定螺栓、開設于固定塊與固定座之間的接線槽、開設于固定塊與固定座之間的保護槽，所述保護槽與接線槽聯通，所述陰極電弧線依次貫穿固定板和固定座，所述陰極電弧線與固定座滑動連接，所述固定螺栓與固定座和固定塊螺紋連接。

作為本實用新型優選的，所述底座的外側設有固定部，所述固定部內開設有兩個固定孔，所述固定孔內設有安裝套。

作為本實用新型優選的，所述電弧靶外側設置有保護套。

作為本實用新型優選的，所述底座下設有絕緣層。

作為本實用新型優選的，所述保護套下設置有延長套。

作為本實用新型優選的，所述保護槽內設有保護墊。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果如下：

1、本實用新型通過設置固定板、電弧靶、陰極電弧線、沉積坑、固定座、固定塊、固定螺栓、接線槽、保護槽的配合使用，達到了使固定連接線和固定連接線的效果，擰動固定螺栓使固定塊移動，此時把來電線與陰極電弧線連接，電線剝掉絕緣皮的一部分被接線槽擠壓住，此時電源未剝掉絕緣皮的一部分被保護槽保護。

2、本實用新型通過設置固定部、固定孔、安裝套的配合使用，能夠使底座剛穩固的固定，不會發生晃動時影響底座的穩定，安裝套是一種塑膠制品，可以使螺絲在固定孔內固定在相對應的螺絲孔內使對固定部進行保護，防止螺絲擰太緊損傷固定部。

3、本實用新型通過設置保護套，能夠防止電弧靶的側面被損壞。

4、本實用新型通過設置絕緣層，能夠對底座進行絕緣保護。

5、本實用新型通過設置延長套，能夠安裝套延長進行保護。

6、本實用新型通過設置保護墊，能夠使被剝皮的電線被保護。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例提供的結構示意圖；