[實用新型]一種陰極電弧靶的接線端

有效

• 申請號: 202222676169.1
• 申請日: 2022-10-12
• 公開（公告）號: CN218059172U
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發明（設計）人: 張文錄;江鳶飛
• 申請（專利權）人: 深圳市崗川涂層科技有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種陰極電弧靶的接線端，包括水平放置的底座（1）和用于固定接線的接線裝置，其特征在于：所述接線裝置包括設于底座（1）上的固定板（2）、設于固定板（2）上的電弧靶（3）、設于固定板（2）上的陰極電弧線（4）、開設于電弧靶（3）上的沉積坑（5）、設于底座（1）下的固定座（6）、設于固定座（6）下的固定塊（7）、設于固定塊（7）上的固定螺栓（8）、開設于固定塊（7）與固定座（6）之間的接線槽（9）、開設于固定塊（7）與固定座（6）之間的保護槽（10），所述保護槽（10）與接線槽（9）聯通，所述陰極電弧線（4）依次貫穿固定板（2）和固定座（6），所述陰極電弧線（4）與固定座（6）滑動連接，所述固定螺栓（8）與固定座（6）和固定塊（7）螺紋連接。

2.如權利要求1所述的一種陰極電弧靶的接線端，其特征在于：所述底座（1）的外側設有固定部（11），所述固定部（11）內開設有兩個固定孔（12），所述固定孔（12）內設有安裝套（13）。

3.如權利要求1所述的一種陰極電弧靶的接線端，其特征在于：所述電弧靶（3）外側設置有保護套（14）。

4.如權利要求1所述的一種陰極電弧靶的接線端，其特征在于：所述底座（1）下設有絕緣層（15）。

5.如權利要求3所述的一種陰極電弧靶的接線端，其特征在于：所述保護套（14）下設置有延長套（16）。

6.如權利要求1所述的一種陰極電弧靶的接線端，其特征在于：所述保護槽（10）內設有保護墊（17）。