[實用新型]光波導元件、光調制器件與光發送裝置

有效

• 申請號: 202222611564.1
• 申請日: 2022-09-29
• 公開（公告）號: CN218524976U
• 公開（公告）日: 2023-02-24
• 發明（設計）人: 本谷將之;片岡利夫
• 申請（專利權）人: 住友大阪水泥株式會社
• 主分類號: G02F1/035
• 分類號: G02F1/035;G02F1/225;G02F1/03
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊文娟;臧建明

本實用新型提供一種光波導元件、光調制器件與光發送裝置，抑制了頻率特性的波谷現象，也抑制了制造成本的增加。光波導元件具有：基板(1)，具有電光效應；光波導(2)，形成于所述基板；以及控制電極，配置于所述基板(1)上，用于對所述光波導中傳播的光波進行調制，且所述光波導元件的特征在于，所述控制電極具有信號電極(S)和接地電極，沿著所述光波導的進行調制的調制作用部分配置有所述信號電極(S)和所述接地電極，所述接地電極的與所述基板相向的底面的形狀中，將所述接地電極分離為靠近所述信號電極(S)的第一接地電極(G1)與遠離所述信號電極的第二接地電極(G2)的狹縫(SL)形成于與所述調制作用部分對應的范圍。

技術領域

本實用新型涉及一種光波導元件以及使用此光波導元件的光調制器件與光發送裝置，特別涉及一種抑制了高頻特性的波谷(dip)現象的光波導元件。

背景技術

在光測量技術領域或光通信技術領域中，多使用光調制器等使用形成有光波導的基板的光波導元件。近年來，為了應對移動通信的流量的增大，要求以更高頻段(例如30GHz～300GHz)使用光調制器。

圖1為表示以往的光波導元件的一例的截面圖。圖1中，在鈮酸鋰(LN)等的具有電光效應的基板1，使鈦(Ti)等進行熱擴散而形成光波導2。在基板1上，形成有用于對光波導施加電場的控制電極，具體而言，形成有信號電極S及以夾持此信號電極S的方式形成的接地電極G。

接地電極的下部呈向信號電極側突出的形狀。其原因在于，通過在光波導的附近縮窄信號電極與接地電極的間隔，從而增強對光波導施加的電場。另一方面其原因在于，電極上部通過擴大信號電極與接地電極的間隔，從而實現光波導中傳播的光波、與信號電極中傳播的微波的速度匹配，并且增加控制電極的阻抗，例如接近輸入阻抗的50Ω。

而且，圖1中通過減薄基板1的厚度，從而提高對光波導施加的電場效率。為了補強作為薄板的基板1的機械強度，經由膠粘層3接合有保持基板4。

將圖1那樣的光波導元件的頻率特性示于圖2。圖2的橫軸為對光波導元件施加的微波的頻率，縱軸表示光波導元件的透過特性(S21)的損耗(插入損耗)。觀看圖2的頻率特性，高頻段中產生波形大幅度地凹陷(下降)的所謂波谷現象。

其原因在于，如圖1那樣，控制電極所形成的電場(電力線EF)不僅擴展至基板1，而且擴展至包含保持基板4的全體，對信號電極施加的高頻的微波與基板內的共振模式(基板模式)結合。

專利文獻1中公開了下述內容，即：為了抑制此種波谷(紋波(ripple))現象，在保持基板(補強基板)局部地形成低介電常數部。專利文獻1所示的方法中，產生保持基板4的制造工序變復雜，而且制造成本增加等問題。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2019-174588號公報

[專利文獻2]日本專利特開平5-196902號公報

實用新型內容

[實用新型所要解決的問題]

本實用新型所要解決的問題在于提供一種光波導元件，此光波導元件解決了如上所述的問題，抑制了頻率特性的波谷現象，而且也抑制了制造成本的增加。而且，本實用新型提供一種利用所述光波導元件的光調制器件與光發送裝置。

[解決問題的技術手段]

為了解決所述問題，本實用新型的光波導元件以及使用此光波導元件的光調制器件與光發送裝置具有以下的技術特征。