[實用新型]光波導元件、光調制器件與光發送裝置

有效

• 申請號: 202222611564.1
• 申請日: 2022-09-29
• 公開（公告）號: CN218524976U
• 公開（公告）日: 2023-02-24
• 發明（設計）人: 本谷將之;片岡利夫
• 申請（專利權）人: 住友大阪水泥株式會社
• 主分類號: G02F1/035
• 分類號: G02F1/035;G02F1/225;G02F1/03
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊文娟;臧建明

1.一種光波導元件，其特征在于，包括：基板，具有電光效應；光波導，形成于所述基板；以及控制電極，配置于所述基板上，用于對所述光波導中傳播的光波進行調制，且所述光波導元件中，

所述控制電極具有信號電極和接地電極，

沿著所述光波導的進行調制的調制作用部分配置有所述信號電極和所述接地電極，

所述接地電極的與所述基板相向的底面的形狀中，將所述接地電極分離為靠近所述信號電極的第一接地電極與遠離所述信號電極的第二接地電極的狹縫形成于與所述調制作用部分對應的范圍。

2.根據權利要求1所述的光波導元件，其特征在于，

和所述調制作用部分延伸的方向垂直的方向的、所述狹縫的寬度為40μm以上。

3.根據權利要求1或2所述的光波導元件，其特征在于，

和所述調制作用部分延伸的方向垂直的方向的、所述第一接地電極的底面部分的寬度為100μm以下。

4.根據權利要求1或2所述的光波導元件，其特征在于，

和所述調制作用部分延伸的方向垂直的方向的所述狹縫的寬度(WSL)、與和所述調制作用部分延伸的方向垂直的方向的所述第一接地電極的底面部分的寬度(WG1)之比即WSL/WG1為0.4以上。

5.根據權利要求1或2所述的光波導元件，其特征在于，

所述第一接地電極的形狀包括下側部分比上側部分更接近所述信號電極的、L字形狀的多段結構，

和所述調制作用部分延伸的方向垂直的方向的、所述下側部分比所述上側部分更向信號電極側突出的寬度，設定于所述信號電極的寬度的20％～70％的范圍。

6.根據權利要求1或2所述的光波導元件，其特征在于，

所述第一接地電極的形狀包括下側部分比上側部分更接近所述信號電極的、L字形狀的多段結構，

所述下側部分的高度為2μm～10μm，

所述下側部分與所述上側部分的總體的高度為20μm～50μm。

7.根據權利要求1或2所述的光波導元件，其特征在于，

所述第一接地電極與所述第二接地電極在與所述光波導的所述調制作用部分對應的范圍以外，相互電連接。

8.根據權利要求1或2所述的光波導元件，其特征在于，

所述基板為20μm以下的厚度，

在所述基板的背面側經由膠粘層配置有保持基板。

9.一種光調制器件，其特征在于，

如權利要求1至8中任一項所述的光波導元件收容于框體內，且所述光調制器件包括：光纖，對所述光波導輸入或輸出光波。

10.根據權利要求9所述的光調制器件，其特征在于，

在所述框體的內部具有電子電路，所述電子電路將輸入至所述光波導元件的所述信號電極的調制信號放大。

11.一種光發送裝置，其特征在于，包括：

如權利要求9或10所述的光調制器件；以及電子電路，輸出使所述光調制器件進行調制動作的調制信號。