[實(shí)用新型]一種圓晶盒密封門解鎖裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202222603365.6
• 申請(qǐng)日: 2022-09-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN218385141U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-01-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王曉飛;顧文豪;張宵雨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 嘉興微拓電子科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;E05C19/00
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31227
• 代理人: 汪文芹

本實(shí)用新型提出一種圓晶盒密封門解鎖裝置，包括解鎖門板、解鎖鑰匙及解鎖吸盤，解鎖鑰匙通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)安裝于解鎖門板中，并與密封門的鎖具配合，解鎖吸盤安裝于解鎖門板上，并與密封門配合；還包括移動(dòng)座板及解鎖擺臂，移動(dòng)座板通過(guò)移動(dòng)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)安裝于解鎖門板上，解鎖擺臂安裝于解鎖鑰匙上，移動(dòng)座板與解鎖擺臂配合。該解鎖裝置在解鎖門板上安裝可移動(dòng)的移動(dòng)座板，移動(dòng)座板通過(guò)解鎖擺臂帶動(dòng)解鎖鑰匙偏轉(zhuǎn)，從而對(duì)密封門進(jìn)行解鎖，移動(dòng)座板所采用的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)為驅(qū)動(dòng)電機(jī)與絲桿螺母?jìng)鲃?dòng)機(jī)構(gòu)結(jié)合，其結(jié)構(gòu)更為緊湊，并且運(yùn)動(dòng)部件的分布范圍較小，不易在長(zhǎng)期運(yùn)行后產(chǎn)生松脫，使其成對(duì)設(shè)置的解鎖鑰匙運(yùn)行同步度更佳，可有效提升解鎖成功率，減少運(yùn)行故障。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，尤其涉及一種圓晶盒密封門解鎖裝置。

背景技術(shù)

對(duì)晶圓片進(jìn)行檢測(cè)或加工的過(guò)程中，需要將晶圓片從封閉的晶圓盒中取出，取出時(shí)要對(duì)密封門進(jìn)行解鎖，例如CN202120696627.0公開(kāi)一種晶圓盒門體解鎖機(jī)構(gòu)，該解鎖機(jī)構(gòu)采用定位銷柱使支承基板與晶圓盒門體插接定位，并采用吸合盤片對(duì)晶圓盒門體進(jìn)行吸合定位，同時(shí)使解鎖鑰匙插入晶圓盒門體的鎖具內(nèi)，再通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)解鎖鑰匙轉(zhuǎn)動(dòng)解鎖鑰匙轉(zhuǎn)動(dòng)，對(duì)晶圓盒門體進(jìn)行解鎖，晶圓盒門體在解鎖后可隨支承基板一同移走，將晶圓盒打開(kāi)。這種解鎖機(jī)構(gòu)的解鎖驅(qū)動(dòng)組件是采用驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)傳動(dòng)環(huán)帶帶動(dòng)解鎖輪盤轉(zhuǎn)動(dòng)的結(jié)構(gòu)，為了保證傳動(dòng)輪帶運(yùn)行穩(wěn)定，還設(shè)置傳動(dòng)惰輪及張緊輪組對(duì)傳動(dòng)環(huán)帶進(jìn)行張緊處理，在長(zhǎng)期運(yùn)行之后，傳動(dòng)環(huán)帶容易發(fā)生磨損，與傳動(dòng)惰輪及張緊輪組等轉(zhuǎn)動(dòng)部件之間的配合間隙增大，使得運(yùn)行精度降低，解鎖失敗率增加。因此，有必要設(shè)計(jì)一種解鎖裝置，以克服上述缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種圓晶盒密封門解鎖裝置，以提升解鎖精度，延長(zhǎng)使用壽命。

本實(shí)用新型為解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：

一種圓晶盒密封門解鎖裝置，包括解鎖門板、解鎖鑰匙及解鎖吸盤，解鎖鑰匙通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)安裝于解鎖門板中，并與密封門的鎖具配合，可在解鎖門板上偏轉(zhuǎn)，對(duì)密封門進(jìn)行解鎖，解鎖吸盤安裝于解鎖門板上，并與密封門配合，可對(duì)密封門進(jìn)行吸附，使其與晶圓盒脫離；

還包括移動(dòng)座板，該移動(dòng)座板通過(guò)移動(dòng)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)安裝于解鎖門板上，可在解鎖門板上移動(dòng)；

還包括解鎖擺臂，該解鎖擺臂安裝于解鎖鑰匙上，可與解鎖鑰匙一同偏轉(zhuǎn)，移動(dòng)座板與解鎖擺臂配合，可通過(guò)解鎖擺臂帶動(dòng)解鎖鑰匙偏轉(zhuǎn)。

在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，解鎖鑰匙設(shè)有一對(duì)，以與晶圓盒密封門的鎖具配合，解鎖過(guò)程中，各解鎖鑰匙同步偏轉(zhuǎn)，共同對(duì)密封門進(jìn)行解鎖，與之適配，解鎖擺臂也設(shè)有一對(duì)，各解鎖擺臂一端與解鎖鑰匙固定連接，另一端與移動(dòng)座板配合。

還包括驅(qū)動(dòng)絲桿，該驅(qū)動(dòng)絲桿通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)安裝于解鎖門板上，可在解鎖門板上轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)絲桿上安裝有與之適配的傳動(dòng)螺母，移動(dòng)座板通過(guò)連接件與傳動(dòng)螺母連接，驅(qū)動(dòng)絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)可帶動(dòng)傳動(dòng)螺母及移動(dòng)座板移動(dòng)。

在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，解鎖門板上安裝有轉(zhuǎn)接座架，驅(qū)動(dòng)絲桿通過(guò)軸承安裝于轉(zhuǎn)接座架中，其末端安裝有被動(dòng)帶輪，轉(zhuǎn)接座架中還安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的動(dòng)力輸出軸末端安裝有主動(dòng)帶輪，主動(dòng)帶輪通過(guò)傳動(dòng)帶與被動(dòng)帶輪配合，使驅(qū)動(dòng)電機(jī)可帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)；

在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，傳動(dòng)螺母與移動(dòng)座板之間設(shè)有連接卡塊，連接卡塊一端與傳動(dòng)螺母連接，另一端與移動(dòng)座板連接，傳動(dòng)螺母及驅(qū)動(dòng)絲桿的配合關(guān)系未盡之處可參考現(xiàn)有技術(shù)中的絲桿螺母?jìng)鲃?dòng)機(jī)構(gòu)。

解鎖門板上安裝有解鎖支塊，解鎖支塊向解鎖門板外側(cè)伸出，其末端與解鎖門板之間具有間隙，解鎖鑰匙一端通過(guò)導(dǎo)向軸套安裝于解鎖門板中，另一端通過(guò)承轉(zhuǎn)軸套安裝于解鎖支塊末端，使解鎖鑰匙可在解鎖支塊與解鎖門板之間轉(zhuǎn)動(dòng)，并可在解鎖支塊與解鎖門板之間沿其軸向移動(dòng)。

在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，解鎖鑰匙的配接端向解鎖門板外部伸出，與密封門的鎖具配合。