[實用新型]一種圓晶盒密封門解鎖裝置有效
| 申請號: | 202222603365.6 | 申請日: | 2022-09-23 |
| 公開(公告)號: | CN218385141U | 公開(公告)日: | 2023-01-24 |
| 發明(設計)人: | 王曉飛;顧文豪;張宵雨 | 申請(專利權)人: | 嘉興微拓電子科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;E05C19/00 |
| 代理公司: | 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司 31227 | 代理人: | 汪文芹 |
| 地址: | 314100 浙江省*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 圓晶盒 密封 解鎖 裝置 | ||
1.一種圓晶盒密封門解鎖裝置,包括解鎖門板、解鎖鑰匙及解鎖吸盤,解鎖鑰匙通過轉動結構安裝于解鎖門板中,并與密封門的鎖具配合,可在解鎖門板上偏轉,解鎖吸盤安裝于解鎖門板上,并與密封門配合,可對密封門進行吸附,其特征在于:
還包括移動座板,該移動座板通過移動導向結構安裝于解鎖門板上;
還包括解鎖擺臂,該解鎖擺臂安裝于解鎖鑰匙上,移動座板與解鎖擺臂配合。
2.根據權利要求1所述的一種圓晶盒密封門解鎖裝置,其特征在于:
還包括驅動絲桿,該驅動絲桿通過轉動結構安裝于解鎖門板上,驅動絲桿上安裝有與之適配的傳動螺母,移動座板通過連接件與傳動螺母連接。
3.根據權利要求1所述的一種圓晶盒密封門解鎖裝置,其特征在于:
解鎖門板上安裝有解鎖支塊,解鎖支塊向解鎖門板外側伸出,其末端與解鎖門板之間具有間隙,解鎖鑰匙一端通過導向軸套安裝于解鎖門板中,另一端通過承轉軸套安裝于解鎖支塊末端。
4.根據權利要求1所述的一種圓晶盒密封門解鎖裝置,其特征在于:
解鎖門板上開設有導向槽口,移動座板上安裝有導向滑輪,導向滑輪伸入導向槽口內。
5.根據權利要求1所述的一種圓晶盒密封門解鎖裝置,其特征在于:
解鎖擺臂中開設有配接長槽,該配接長槽中部具有彎折結構,移動座板上安裝有配接撥銷,配接撥銷伸入配接長槽內。
6.根據權利要求3所述的一種圓晶盒密封門解鎖裝置,其特征在于:
解鎖鑰匙上套設有復位彈簧,復位彈簧一端與解鎖擺臂抵接,另一端與解鎖支塊末端抵接;
移動座板上安裝有頂壓釘珠,頂壓釘珠向移動座板外側凸出,解鎖擺臂內壁開設有導向斜面,頂壓釘珠隨移動座板移動至解鎖擺臂處時,與導向斜面抵接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





