[實用新型]一種液晶面板鋁蝕刻機酸濃度穩定調節裝置

有效

• 申請號: 202222601349.3
• 申請日: 2022-09-30
• 公開（公告）號: CN218465948U
• 公開（公告）日: 2023-02-10
• 發明（設計）人: 鐘水金;溫笑群;趙贊;吾繼明
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46;C23F1/08;C23F1/20
• 代理公司: 福州市京華專利代理事務所(普通合伙) 35212
• 代理人: 林云嬌

本實用新型提供了一種液晶面板鋁蝕刻機酸濃度穩定調節裝置，包括一蝕刻室、一藥液槽、兩個單酸槽及一控制裝置；蝕刻室頂部連通設有粗排氣管路和細排氣管路，粗排氣管路上設有第一調節閥，細排氣管路上設有第二調節閥；藥液槽通過噴灑管路連通蝕刻室，噴灑管路上設有一泵體，藥液槽與蝕刻室之間設有一回流管路和一排氣管路，排氣管路上設有第三調節閥；控制裝置包括濃度控制裝置和取樣檢測裝置，取樣檢測裝置通過取樣管路連接藥液槽，濃度控制裝置通過取樣檢測裝置量測結果進行調節單酸槽對藥液槽的藥液補給量。本實用新型結構簡單，操作方便，可調節各單元酸氣平衡，降低各單酸的抽氣量，使三酸濃度更加平穩，且可降低單酸補給量。

技術領域

本實用新型涉及一種蝕刻機，尤其是一種液晶面板鋁蝕刻機酸濃度穩定調節裝置。

背景技術

現有技術一般采用浸漬法和噴淋法來加工制造液晶顯示器的玻璃基板，噴淋法是玻璃基板在蝕刻機內蝕刻，通過泵抽取藥液，形成一定的噴淋壓力對產品進行噴淋蝕刻，而蝕刻的過程中硝酸和醋酸還會隨著蝕刻室的排氣而揮發，因此，混酸溶液當中硝酸、磷酸和醋酸的濃度均會不斷變化，蝕刻速度也隨之變化，因此定時引取藥液樣品對當中的硝酸、磷酸和醋酸的含量進行滴定量測，并記錄三酸濃度的波動值，通過濃度控制裝置對所需單酸進行補充使酸濃度穩定。因玻璃基板在蝕刻室中進行蝕刻，為了平衡蝕刻室氣流流場設置了排氣管，但是現有排氣管較大，排氣量大，無法做到精細排氣，使得藥液中酸濃度的含量波動均在±10％至±5％之間，其波動范圍較大，使得蝕刻產品的特性值穩定度不佳，且補充的單酸用量高。

發明內容

本實用新型要解決的技術問題，在于提供了一種液晶面板鋁蝕刻機酸濃度穩定調節裝置，其結構簡單，操作方便，可調節各單元酸氣平衡，降低各單酸的抽氣量，使三酸濃度更加平穩，且可降低單酸補給量。

本實用新型是這樣實現的：一種液晶面板鋁蝕刻機酸濃度穩定調節裝置，包括一蝕刻室、一藥液槽、兩個單酸槽(分別為硝酸槽和醋酸槽)及一控制裝置；所述蝕刻室頂部連通設有粗排氣管路和細排氣管路，所述粗排氣管路和所述細排氣管路均連通一抽氣管路，所述粗排氣管路上設有第一調節閥，所述細排氣管路上設有第二調節閥；所述藥液槽通過噴灑管路連通所述蝕刻室，所述噴灑管路上設有一泵體，所述藥液槽與所述蝕刻室之間設有一回流管路和一排氣管路，所述排氣管路上設有第三調節閥；兩個所述單酸槽通過補給管路與所述藥液槽連接；所述控制裝置包括取樣檢測裝置和濃度控制裝置，所述取樣檢測裝置通過取樣管路連接所述藥液槽，所述濃度控制裝置通過取樣檢測裝置量測結果進行調節所述單酸槽對所述藥液槽的藥液補給量。

進一步的，所述蝕刻室的前端設有干燥單元，所述蝕刻室的末端設有水洗單元，所述干燥單元和水洗單元與所述蝕刻室之間分別設有一隔離單元。

進一步的，所述藥液槽設有兩個，分別連接所述泵體，所述藥液槽分別與所述蝕刻室之間連接有回流管路。

本實用新型的優點在于：通過在蝕刻室的頂部增加所述細排氣管及第二調節閥，能夠更加精細的調節排氣量，使蝕刻室內的酸氣濃度更加平穩；通過在所述藥液槽與所述蝕刻室之間的排氣管路上設置第三調節閥，可控制藥液槽內的藥液揮發與腔壓平衡，通過選取第二調節閥和第三調節閥的最優開度，可降低各單酸的抽氣量，使三酸濃度更加平穩，波動范圍下降到±3％，酸濃度控制平穩，相應單酸補給量也穩定，酸的使用周期也可以得到提升，可以實現節能減排成效。本實用新型在于提供了一種液晶面板鋁蝕刻機酸濃度穩定調節裝置，其結構簡單，操作方便，可調節各單元酸氣平衡，降低各單酸的抽氣量，使三酸濃度更加平穩，且可降低單酸補給量。

附圖說明

下面參照附圖結合實施例對本實用新型作進一步的說明。

圖1為本實用新型一種液晶面板鋁蝕刻機酸濃度穩定調節裝置的結構示意圖。

圖2為本實用新型實施例一的結構示意圖。

圖3為本實用新型改善前后藥液槽內硝酸、醋酸和磷酸濃度對比圖。