[實用新型]一種液晶面板鋁蝕刻機酸濃度穩定調節裝置

有效

• 申請號: 202222601349.3
• 申請日: 2022-09-30
• 公開（公告）號: CN218465948U
• 公開（公告）日: 2023-02-10
• 發明（設計）人: 鐘水金;溫笑群;趙贊;吾繼明
• 申請（專利權）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46;C23F1/08;C23F1/20
• 代理公司: 福州市京華專利代理事務所(普通合伙) 35212
• 代理人: 林云嬌

1.一種液晶面板鋁蝕刻機酸濃度穩定調節裝置，其特征在于：包括

一蝕刻室，其頂部連通設有粗排氣管路和細排氣管路，所述粗排氣管路和所述細排氣管路均連通一抽氣管路，所述粗排氣管路上設有第一調節閥，所述細排氣管路上設有第二調節閥；

一藥液槽，通過噴灑管路連通所述蝕刻室，所述噴灑管路上設有一泵體，所述藥液槽與所述蝕刻室之間設有一回流管路和一排氣管路，所述排氣管路上設有第三調節閥；

兩個單酸槽，分別通過補給管路與所述藥液槽連接；

一控制裝置，包括取樣檢測裝置和濃度控制裝置，所述取樣檢測裝置通過取樣管路連接所述藥液槽，所述濃度控制裝置通過取樣檢測裝置量測結果進行調節所述單酸槽對所述藥液槽的藥液補給量。

2.根據權利要求1所述的一種液晶面板鋁蝕刻機酸濃度穩定調節裝置，其特征在于：所述蝕刻室的前端設有干燥單元，所述蝕刻室的末端設有水洗單元，所述干燥單元和水洗單元與所述蝕刻室之間分別設有一隔離單元。

3.根據權利要求1所述的一種液晶面板鋁蝕刻機酸濃度穩定調節裝置，其特征在于：所述藥液槽設有兩個，分別連接所述泵體，所述藥液槽分別與所述蝕刻室之間連接有回流管路。