[實用新型]刻蝕工藝演示裝置

有效

• 申請號: 202222600508.8
• 申請日: 2022-09-29
• 公開（公告）號: CN218886698U
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發明（設計）人: 科迪·瞿;夏靜;朱善岳;梅良中;李先波;李建軍;陳俊健
• 申請（專利權）人: 浙江三和科教儀器有限公司
• 主分類號: G09B5/02
• 分類號: G09B5/02;G09B25/00
• 代理公司: 溫州甌越專利代理有限公司 33211
• 代理人: 李祎帆

本實用新型公開了一種刻蝕工藝演示裝置，包括有基殼、活動設置在基殼前側的晶圓模型、用于驅動晶圓模型縱向運動的驅動機構，所述基殼包括有位于晶圓模型運行路徑的下端的箱體，所述箱體用于模擬化學溶液池，箱體包括有可供晶圓模型向下運動進入的內腔，所述箱體包括有視頻播放模塊，所述視頻播放模塊與驅動機構聯動配合，并能夠在晶圓模型進入箱體的同時播放預設的第一視頻動畫，所述第一視頻動畫的內容包括有晶圓向下浸入到化學溶液池中并進行反應的過程。本實用新型構造簡單，能夠用于芯片制作工藝中刻蝕步驟的教學演示用途，虛實結合，具有較好的教學效果。

技術領域

本實用新型涉及一種刻蝕工藝演示裝置。

背景技術

芯片制作流程中，在晶圓上完成電路圖的光刻之后，需要用刻蝕工藝來去除多余的氧化膜且只保留下半導體電路圖。要做到這一點需要使用特定的化學溶液進行化學反應來去除晶圓上的氧化膜。

現有教學設施受制于成本、安全性等諸多因素限制，無法配置真實的刻蝕設備來對學生進行芯片制作過程中的刻蝕工藝的教學演示。學生對于刻蝕工藝的學習和理解主要依靠于書本、視頻動畫以及教學工作者的口頭介紹等，教學效果有待提升。目前現有技術中也有采用虛擬教學方式對芯片制造過程進行教學演示的，例如中國發明專利申請公開的一種IC制造虛擬仿真教學平臺（CN111724282A）中就記載了這樣一種方案。然而這種教學方式仍然對教學設備有一定的要求，每個學生均需要配置一臺，教學演示成本較高。此外，這種教學設備適合配置在教室中供學生學習使用，并不適用于展廳等場所。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種刻蝕工藝演示裝置，構造簡單，能夠用于芯片制作工藝中刻蝕步驟的教學演示用途，具有較好的教學效果。

本實用新型提供了一種刻蝕工藝演示裝置，包括有基殼、活動設置在基殼前側的晶圓模型、用于驅動晶圓模型縱向運動的驅動機構，所述基殼包括有位于晶圓模型運行路徑的下端的箱體，所述箱體用于模擬化學溶液池，箱體包括有可供晶圓模型向下運動進入的內腔，所述箱體包括有視頻播放模塊，所述視頻播放模塊與驅動機構聯動配合，并能夠在晶圓模型進入箱體的同時播放預設的第一視頻動畫，所述第一視頻動畫的內容包括有晶圓向下浸入到化學溶液池中并進行反應的過程。

進一步地，所述視頻播放模塊包括有設置在箱體前側的顯示屏。

進一步地，所述視頻播放模塊還能夠在晶圓模型從箱體中向上移出時播放預設的第二視頻動畫，所述第二視頻動畫的內容包括有晶圓向上從化學溶液池中移出的過程。

進一步地，所述驅動機構包括有設置在基殼上的導軌支架、滑塊、絲桿、電機，滑塊與導軌支架構成縱向的滑動配合，絲桿與導軌支架構成轉動連接，電機用于驅動絲桿轉動，滑塊與絲桿構成螺接配合，所述晶圓模型與滑塊配合固定。

進一步地，包括有展示架，所述展示架包括有容置槽、設置在容置槽槽口處的透明展示窗，所述基殼固定在容置槽的內側壁和底內壁上。

本實用新型的有益效果是：驅動機構能夠驅動晶圓模型縱向運動，在驅動其向下運動至箱體內側時，能夠模擬將晶圓浸入到化學溶液池中的過程。當晶圓模型進入箱體的同時，視頻播放模塊會播放記載有晶圓向下浸入到化學溶液池中的視頻動畫，通過視頻動畫能夠直觀的看到晶圓和化學溶液之間產生的化學反應。本實用新型能夠用于芯片制作工藝中刻蝕步驟的教學演示用途，不僅構造簡單，通過虛實結合的方式具有更好的趣味性，能夠提高教學效果。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例的結構圖；

圖2為本實用新型實施例的主視圖；

圖3為圖2中沿A-A剖面線的剖視圖；

圖4為本實用新型實施例驅動機構的結構圖；

圖5為本實用新型實施例的使用狀態圖。

具體實施方式