[實用新型]刻蝕工藝演示裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222600508.8
• 申請日: 2022-09-29
• 公開（公告）號: CN218886698U
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 科迪·瞿;夏靜;朱善岳;梅良中;李先波;李建軍;陳俊健
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江三和科教儀器有限公司
• 主分類號: G09B5/02
• 分類號: G09B5/02;G09B25/00
• 代理公司: 溫州甌越專利代理有限公司 33211
• 代理人: 李祎帆

1.一種刻蝕工藝演示裝置，其特征在于：包括有基殼、活動設(shè)置在基殼前側(cè)的晶圓模型、用于驅(qū)動晶圓模型縱向運動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述基殼包括有位于晶圓模型運行路徑的下端的箱體，所述箱體用于模擬化學(xué)溶液池，箱體包括有可供晶圓模型向下運動進(jìn)入的內(nèi)腔，所述箱體包括有視頻播放模塊，所述視頻播放模塊與驅(qū)動機(jī)構(gòu)聯(lián)動配合，并能夠在晶圓模型進(jìn)入箱體的同時播放預(yù)設(shè)的第一視頻動畫，所述第一視頻動畫的內(nèi)容包括有晶圓向下浸入到化學(xué)溶液池中并進(jìn)行反應(yīng)的過程。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕工藝演示裝置，其特征在于：所述視頻播放模塊包括有設(shè)置在箱體前側(cè)的顯示屏。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕工藝演示裝置，其特征在于：所述視頻播放模塊還能夠在晶圓模型從箱體中向上移出時播放預(yù)設(shè)的第二視頻動畫，所述第二視頻動畫的內(nèi)容包括有晶圓向上從化學(xué)溶液池中移出的過程。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻蝕工藝演示裝置，其特征在于：所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括有設(shè)置在基殼上的導(dǎo)軌支架、滑塊、絲桿、電機(jī)，滑塊與導(dǎo)軌支架構(gòu)成縱向的滑動配合，絲桿與導(dǎo)軌支架構(gòu)成轉(zhuǎn)動連接，電機(jī)用于驅(qū)動絲桿轉(zhuǎn)動，滑塊與絲桿構(gòu)成螺接配合，所述晶圓模型與滑塊配合固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項所述的刻蝕工藝演示裝置，其特征在于：包括有展示架，所述展示架包括有容置槽、設(shè)置在容置槽槽口處的透明展示窗，所述基殼固定在容置槽的內(nèi)側(cè)壁和底內(nèi)壁上。