[實用新型]一種芯片制造用高效多點測試探針裝置

有效

• 申請號: 202222571565.8
• 申請日: 2022-09-28
• 公開（公告）號: CN218601415U
• 公開（公告）日: 2023-03-10
• 發明（設計）人: 方經軍
• 申請（專利權）人: 蘇州斯丹德電子科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/067;H01L21/66
• 代理公司: 深圳市賓亞知識產權代理有限公司 44459
• 代理人: 吳偉

本實用新型公開了一種芯片制造用高效多點測試探針裝置，涉及芯片測試技術領域，包括底板、豎向移動組件、探測組件和安裝組件；底板上端四角設有安裝孔；豎向移動組件設置在底板的上側；安裝組件設置在底板的上端；探測組件：包含滑槽、滑塊、探測儀、連接桿和數據線，所述滑槽開設在豎向移動組件中的滑板下側，所述滑槽形狀為橫向，所述滑槽的內部滑動連接有滑塊，所述滑塊的下端固定連接在探測儀，所述探測儀的左右兩側固定連接有多個數據線，所述數據線的外周側固定連接有連接桿，所述連接桿的上端固定連接在滑塊的下端，滑塊可以沿著滑槽橫向滑動，其在探針對芯片的測量比較方便，節省大量時間，可以使效率增加。

技術領域

本實用新型涉及芯片測試技術領域，具體為一種芯片制造用高效多點測試探針裝置。

背景技術

芯片(chip)在電子學中是一種把電路(主要包括半導體設備，也包括被動組件等)小型化的方式，并時常制造在半導體晶圓表面上，集成電路的規模生產能力，可靠性，電路設計的模塊化方法確保了快速采用標準化集成電路代替了設計使用離散晶體管，成本低、性能高的芯片也就逐步應用的越來越廣泛，芯片在制造過程中需要使用測試探針進行測試，以保證芯片品質符合生產需求。

其中現有技術中探針對芯片的測量比較麻煩，耗費大量時間，導致效率降低。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是克服現有的缺陷，提供一種芯片制造用高效多點測試探針裝置，其在探針對芯片的測量比較方便，節省大量時間，可以使效率增加，可以有效解決背景技術中的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種芯片制造用高效多點測試探針裝置，包括底板、豎向移動組件、探測組件和安裝組件；

底板：上端四角設有安裝孔；

豎向移動組件：設置在底板的上側；

安裝組件：設置在底板的上端；

探測組件：包含滑槽、滑塊、探測儀、連接桿和數據線，所述滑槽開設在豎向移動組件中的滑板下側，所述滑槽形狀為橫向，所述滑槽的內部滑動連接有滑塊，所述滑塊的下端固定連接在探測儀，所述探測儀的左右兩側固定連接有多個數據線，所述數據線的外周側固定連接有連接桿，所述連接桿的上端固定連接在滑塊的下端，滑塊可以沿著滑槽橫向滑動，從而可以使探測儀和數據線可以對芯片的不同位置進行測試，連接桿用于固定數據線。

進一步的，所述探測組件還包含塑性管和探針，所述數據線的側端固定連接有塑性管，所述塑性管的底端固定連接有探針，塑性管可以根據操作人員的需求改變形狀，從而可以使探針可以精準對芯片上的待測點進行測量。

進一步的，所述豎向移動組件包含滑板、滑桿和連接塊，所述底板的上端四角封閉固定連接有四個滑桿，所述滑桿的外周側滑動連接有滑板，所述滑板的上端固定連接有連接塊，滑板可以沿著滑桿滑動，連接塊用于連接滑板上端。

進一步的，所述豎向移動組件還包含側板、立桿和轉輥，所述底板的后端中部固定連接有立桿，所述立桿的上端左右兩側封閉固定連接有兩個側板，兩個側板之間轉動連接有轉輥，立桿用于支撐側板，轉輥可以轉動。

進一步的，所述豎向移動組件還包含纜線和吊塊，所述轉輥的中部連接有纜線，所述纜線的一端固定連接有吊塊，所述吊塊的另一端固定連接連接塊，吊塊的重力可以對纜線進行拉升，從而使連接塊可以豎向移動，當工作人員需要對探針的高度調節時，只需要輕微拉動探針，就可以使滑板可以沿著滑桿滑動，減輕工作人員的體力。

進一步的，所述安裝組件包含安裝板和安裝槽，所述底板的上端中部設有多個安裝板，所述安裝板的上側開設有安裝槽，安裝槽用于裝配芯片，可以方便對芯片進行測量。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本芯片制造用高效多點測試探針裝置，具有以下好處：