[實用新型]一種芯片制造用高效多點測試探針裝置

有效

• 申請號: 202222571565.8
• 申請日: 2022-09-28
• 公開（公告）號: CN218601415U
• 公開（公告）日: 2023-03-10
• 發明（設計）人: 方經軍
• 申請（專利權）人: 蘇州斯丹德電子科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/067;H01L21/66
• 代理公司: 深圳市賓亞知識產權代理有限公司 44459
• 代理人: 吳偉

1.一種芯片制造用高效多點測試探針裝置，其特征在于：包括底板(1)、豎向移動組件(2)、探測組件(3)和安裝組件(4)；

底板(1)：上端四角設有安裝孔；

豎向移動組件(2)：設置在底板(1)的上側；

安裝組件(4)：設置在底板(1)的上端；

探測組件(3)：包含滑槽(31)、滑塊(32)、探測儀(33)、連接桿(34)和數據線(37)，所述滑槽(31)開設在豎向移動組件(2)中的滑板(21)下側，所述滑槽(31)形狀為橫向，所述滑槽(31)的內部滑動連接有滑塊(32)，所述滑塊(32)的下端固定連接在探測儀(33)，所述探測儀(33)的左右兩側固定連接有多個數據線(37)，所述數據線(37)的外周側固定連接有連接桿(34)，所述連接桿(34)的上端固定連接在滑塊(32)的下端。

2.根據權利要求1所述的一種芯片制造用高效多點測試探針裝置，其特征在于：所述探測組件(3)還包含塑性管(35)和探針(36)，所述數據線(37)的側端固定連接有塑性管(35)，所述塑性管(35)的底端固定連接有探針(36)。

3.根據權利要求1所述的一種芯片制造用高效多點測試探針裝置，其特征在于：所述豎向移動組件(2)包含滑板(21)、滑桿(22)和連接塊(23)，所述底板(1)的上端四角封閉固定連接有四個滑桿(22)，所述滑桿(22)的外周側滑動連接有滑板(21)，所述滑板(21)的上端固定連接有連接塊(23)。

4.根據權利要求3所述的一種芯片制造用高效多點測試探針裝置，其特征在于：所述豎向移動組件(2)還包含側板(25)、立桿(27)和轉輥(28)，所述底板(1)的后端中部固定連接有立桿(27)，所述立桿(27)的上端左右兩側封閉固定連接有兩個側板(25)，兩個側板(25)之間轉動連接有轉輥(28)。

5.根據權利要求4所述的一種芯片制造用高效多點測試探針裝置，其特征在于：所述豎向移動組件(2)還包含纜線(24)和吊塊(26)，所述轉輥(28)的中部連接有纜線(24)，所述纜線(24)的一端固定連接有吊塊(26)，所述吊塊(26)的另一端固定連接連接塊(23)。

6.根據權利要求1所述的一種芯片制造用高效多點測試探針裝置，其特征在于：所述安裝組件(4)包含安裝板(41)和安裝槽(42)，所述底板(1)的上端中部設有多個安裝板(41)，所述安裝板(41)的上側開設有安裝槽(42)。