[實(shí)用新型]硅片傳輸機(jī)構(gòu)及電池片生產(chǎn)系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202222528654.4 | 申請日: | 2022-09-23 |
| 公開(公告)號: | CN218101213U | 公開(公告)日: | 2022-12-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 湯帥;孫永剛;李新豐 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州邁為科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18;H01L21/683 |
| 代理公司: | 北京金智普華知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11401 | 代理人: | 徐會娟 |
| 地址: | 215200 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 硅片 傳輸 機(jī)構(gòu) 電池 生產(chǎn) 系統(tǒng) | ||
本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種硅片傳輸機(jī)構(gòu)及電池片生產(chǎn)系統(tǒng)。本實(shí)用新型提供的硅片傳輸機(jī)構(gòu),包括:抽片組件和設(shè)置于抽片組件上方的跑道組件;跑道組件上下方向具有活動空間;抽片組件包括抽片吸盤,抽片吸盤配置為能夠向上運(yùn)動至吸附來自設(shè)置于抽片組件上方的花籃機(jī)構(gòu)輸出端口的硅片,以及,解除對硅片的吸附后沿活動空間向下運(yùn)動至將硅片搭載于跑道組件上。本實(shí)用新型提供的硅片傳輸機(jī)構(gòu)對硅片表面不造成損傷,避免了電池片效率的損失。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種硅片傳輸機(jī)構(gòu)及電池片生產(chǎn)系統(tǒng)。
背景技術(shù)
隨著光伏行業(yè)的發(fā)展,人們對于電池片的要求也越來越高。在當(dāng)前生產(chǎn)活動中,需要將清洗后的電池片從花籃機(jī)構(gòu)(硅片載具)中一片片取出放入石墨載板中(硅片載具),現(xiàn)有技術(shù)是用一款伸縮跑道在花籃機(jī)構(gòu)升降機(jī)到位后(如圖1和圖2所示),伸縮板伸出,花籃機(jī)構(gòu)升降機(jī)下降,硅片通過皮帶一張張流出。
但是,因?yàn)榻?jīng)過清洗制絨機(jī)的電池片表面十分脆弱,任何剮蹭都會在表面留下痕跡,而皮帶輸送使得皮帶與硅片發(fā)生了接觸,產(chǎn)生了相對摩擦,從而留下皮帶印。電池片表面有皮帶印等臟污后會影響電池片發(fā)電效率,進(jìn)而影響企業(yè)利潤。
因此,現(xiàn)有的電池片傳輸機(jī)構(gòu)存在皮帶與電池片產(chǎn)生相對摩擦,會損傷電池片,使電池片的生產(chǎn)效率低的問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型提供了一種硅片傳輸機(jī)構(gòu)及電池片生產(chǎn)系統(tǒng),以解決現(xiàn)有的電池片傳輸機(jī)構(gòu)存在的皮帶與電池片產(chǎn)生相對摩擦,會損傷電池片,使電池片的生產(chǎn)效率低的問題。
為了緩解上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案在于:
第一方面,本實(shí)用新型提供的硅片傳輸機(jī)構(gòu),包括:抽片組件和設(shè)置于所述抽片組件上方的跑道組件;
所述跑道組件上下方向具有活動空間;
所述抽片組件包括抽片吸盤,所述抽片吸盤配置為能夠向上運(yùn)動至吸附來自設(shè)置于抽片組件上方的花籃機(jī)構(gòu)輸出端口的硅片,以及,解除對硅片的吸附后沿所述活動空間向下運(yùn)動至將所述硅片搭載于跑道組件上。
在可選的實(shí)施方式中,
所述抽片組件還包括移動平臺;
所述移動平臺設(shè)置于所述跑道組件下方,所述移動平臺的側(cè)端延伸有彎折臂,所述彎折臂上連接有所述抽片吸盤。
在可選的實(shí)施方式中,
所述抽片組件還包括第一驅(qū)動部;
所述第一驅(qū)動部連接于所述移動平臺下方,所述第一驅(qū)動部配置為驅(qū)動所述移動平臺橫向運(yùn)動。
在可選的實(shí)施方式中,
所述抽片組件還包括第二驅(qū)動部;
所述第二驅(qū)動部連接于所述第一驅(qū)動部下方,所述第二驅(qū)動部配置為驅(qū)動所述第一驅(qū)動部升降。
在可選的實(shí)施方式中,
所述抽片組件還包括真空發(fā)生器;
所述真空發(fā)生器連接于所述抽片吸盤的下方,且用于使所述抽片吸盤形成真空狀態(tài),以使硅片吸附于所述抽片吸盤的上表面。
在可選的實(shí)施方式中,
所述跑道組件包括兩個(gè)平行且對稱設(shè)置的皮帶輸送模塊;
所述活動空間由兩側(cè)的所述皮帶輸送模塊組成。
在可選的實(shí)施方式中,
所述彎折臂的寬度小于兩個(gè)所述皮帶輸送模塊的間距。
在可選的實(shí)施方式中,
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H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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