[實用新型]硅片傳輸機構及電池片生產系統

有效

• 申請號: 202222528654.4
• 申請日: 2022-09-23
• 公開（公告）號: CN218101213U
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發明（設計）人: 湯帥;孫永剛;李新豐
• 申請（專利權）人: 蘇州邁為科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18;H01L21/683
• 代理公司: 北京金智普華知識產權代理有限公司 11401
• 代理人: 徐會娟

1.一種硅片傳輸機構，其特征在于，包括：抽片組件(100)和設置于所述抽片組件(100)上方的跑道組件(200)；

所述跑道組件(200)上下方向具有活動空間；

所述抽片組件(100)包括抽片吸盤(110)，所述抽片吸盤(110)配置為能夠向上運動至吸附來自設置于抽片組件(100)上方的花籃機構(300)輸出端口的硅片，以及，解除對硅片的吸附后沿所述活動空間向下運動至將所述硅片搭載于跑道組件(200)上。

2.根據權利要求1所述的硅片傳輸機構，其特征在于，

所述抽片組件(100)還包括移動平臺(130)；

所述移動平臺(130)設置于所述跑道組件(200)下方，所述移動平臺(130)的側端延伸有彎折臂(131)，所述彎折臂(131)上連接有所述抽片吸盤(110)。

3.根據權利要求2所述的硅片傳輸機構，其特征在于，

所述抽片組件(100)還包括第一驅動部(140)；

所述第一驅動部(140)連接于所述移動平臺(130)下方，所述第一驅動部(140)配置為驅動所述移動平臺(130)橫向運動。

4.根據權利要求3所述的硅片傳輸機構，其特征在于，

所述抽片組件(100)還包括第二驅動部(150)；

所述第二驅動部(150)連接于所述第一驅動部(140)下方，所述第二驅動部(150)配置為驅動所述第一驅動部(140)升降。

5.根據權利要求1所述的硅片傳輸機構，其特征在于，

所述抽片組件(100)還包括真空發生器(120)；

所述真空發生器(120)連接于所述抽片吸盤(110)的下方，且用于使所述抽片吸盤(110)形成真空狀態，以使硅片吸附于所述抽片吸盤(110)的上表面。

6.根據權利要求2所述的硅片傳輸機構，其特征在于，

所述跑道組件(200)包括兩個平行且對稱設置的皮帶輸送模塊(220)；

所述活動空間由兩側的所述皮帶輸送模塊(220)組成。

7.根據權利要求6所述的硅片傳輸機構，其特征在于，

所述彎折臂(131)的寬度小于兩個所述皮帶輸送模塊(220)的間距。

8.根據權利要求6所述的硅片傳輸機構，其特征在于，

所述皮帶輸送模塊(220)包括同步帶(221)；

所述同步帶(221)配置為橫向移動，且用于承載硅片。

9.根據權利要求8所述的硅片傳輸機構，其特征在于，

所述跑道組件(200)還包括第三驅動部(230)；

所述第三驅動部(230)的輸出端驅動所述同步帶(221)橫向運動。

10.一種電池片生產系統，其特征在于，包括如權利要求1-9任一項所述的硅片傳輸機構。