[實(shí)用新型]檢測裝置及處理設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222510142.5
• 申請日: 2022-09-21
• 公開（公告）號: CN218158369U
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙成偉;鄔文波
• 申請（專利權(quán)）人: 西實(shí)顯示高新材料（沈陽）有限公司
• 主分類號: G01V8/14
• 分類號: G01V8/14
• 代理公司: 華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 黃鴻華

本實(shí)用新型涉及一種檢測裝置及處理設(shè)備，檢測裝置包括：發(fā)射件、第一反射件、第二反射件及接收件。發(fā)射件用于產(chǎn)生檢測光線。第一反射件用于反射檢測光線。第二反射件與第一反射件之間設(shè)有間隙。接收件與發(fā)射件處于預(yù)定平面的一側(cè)。第一反射件及第二反射件處于預(yù)定平面的另一側(cè)。接收件用于接收至少經(jīng)第一反射件及第二反射件反射的檢測光線。通過接收件與發(fā)射件處于預(yù)定平面的一側(cè)，第一反射件及第二反射件處于預(yù)定平面的另一側(cè)，第一反射件及第二反射件的反射，避免發(fā)射件及接收件需要分別連接至呈相對關(guān)系的不同壁體，讓發(fā)射件及接收件能夠同時連接靠近載架邊緣的壁體上，從而能方便減小發(fā)射件與接收件之間的安裝距離，利于提高裝配效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及基片處理技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種檢測裝置及處理設(shè)備。

背景技術(shù)

基片在出廠前可能需要進(jìn)行多種工藝處理，以滿足應(yīng)用的需求。例如，玻璃作為一種基片，在出廠前進(jìn)行表面粗化處理，以在玻璃的表面產(chǎn)生防眩光的效果。

在對基片進(jìn)行工藝處理前，需要確保基片已經(jīng)到達(dá)相應(yīng)的位置，以避免加工設(shè)備無效處理，或者方便自動觸發(fā)加工設(shè)備開始進(jìn)行工藝處理。傳統(tǒng)技術(shù)一般設(shè)置檢測結(jié)構(gòu)，在基片到達(dá)相應(yīng)位置時能夠?qū)M(jìn)行識別。檢測結(jié)構(gòu)利用發(fā)射器件產(chǎn)生檢測光線，在基片未到達(dá)相應(yīng)的位置時，檢測光線沿直線傳輸路徑到達(dá)接收器件。在基片到達(dá)相應(yīng)的位置時，檢測光線沿直線傳輸路徑受到基片的阻隔，使檢測光線無法到達(dá)接收器件。

然而，傳統(tǒng)的檢測結(jié)構(gòu)中的發(fā)射器件與接收器件的安裝距離較大，導(dǎo)致兩個傳感器件的裝配較為繁瑣，不利于提高加工設(shè)備的裝配效率。

實(shí)用新型內(nèi)容

基于此，有必要針對檢測結(jié)構(gòu)中的發(fā)射器件與接收器件的安裝距離較大，導(dǎo)致兩個傳感器件的裝配較為繁瑣的問題，提供一種檢測裝置及處理設(shè)備。

一種檢測裝置，包括：

發(fā)射件，用于產(chǎn)生檢測光線；

第一反射件，用于反射所述檢測光線；

第二反射件，與所述第一反射件之間設(shè)有間隙；及

接收件，與所述發(fā)射件處于預(yù)定平面的一側(cè)；所述第一反射件及所述第二反射件處于所述預(yù)定平面的另一側(cè)；所述接收件用于接收至少經(jīng)所述第一反射件及所述第二反射件反射的所述檢測光線。

上述檢測裝置，發(fā)射件產(chǎn)生檢測光線后，第一反射件將檢測光線反射至第二反射件。當(dāng)裝載有基片的載架在處理設(shè)備內(nèi)到達(dá)指定的位置時，自第一反射件向第二反射件傳遞的檢測光線受到載架的阻隔或受到透明度較低的基片的阻隔。第二反射件無法將檢測光線反射至接收件，根據(jù)接收件在未接收到檢測光線時的反饋，能確定基片或載架已經(jīng)到達(dá)相應(yīng)的位置。當(dāng)裝載有基片的載架在處理設(shè)備未到達(dá)相應(yīng)的位置時，被第一反射件所反射的檢測光線直接通過第一反射件與第二反射件之間的間隙。檢測光線被第二反射件反射至接收件后，根據(jù)接收件在接收到檢測光線時的反饋，能確定基片或載架并未到達(dá)相應(yīng)的位置。由于發(fā)射件及接收件需要依附于處理設(shè)備的壁體進(jìn)行安裝，通過接收件與發(fā)射件處于預(yù)定平面的一側(cè)，第一反射件及第二反射件處于預(yù)定平面的另一側(cè)，以及第一反射件及第二反射件的反射，能避免發(fā)射件及接收件需要分別連接至呈相對關(guān)系的不同壁體上，讓發(fā)射件及接收件能夠同時連接靠近載架邊緣的壁體上，從而能方便減小發(fā)射件與接收件之間的安裝距離，有利于提高檢測裝置及處理設(shè)備的裝配效率。

在其中一個實(shí)施例中，包括導(dǎo)光件，所述導(dǎo)光件用于對檢測光線進(jìn)行傳導(dǎo)；所述導(dǎo)光件至少一部分設(shè)置于所述發(fā)射件與所述第一反射件之間，及/或，所述導(dǎo)光件至少一部分設(shè)置于所述第二反射件與所述接收件之間。

在其中一個實(shí)施例中，所述導(dǎo)光件沿周向包圍所述檢測光線。

在其中一個實(shí)施例中，所述導(dǎo)光件包括設(shè)置于所述發(fā)射件與所述第一反射件之間的第一管部及設(shè)置于所述第二反射件與所述接收件之間的第二管部；所述導(dǎo)光件還包括對接部，所述對接部連接于所述第一管部與所述第二管部之間。