[實用新型]一種噴淋裝置以及晶棒切割裝置

有效

• 申請號: 202222385582.2
• 申請日: 2022-09-08
• 公開（公告）號: CN218614806U
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發明（設計）人: 高東升;崔思遠;吳瓊瓊;萬里輝;鐘后芳;沈勇發;金從龍
• 申請（專利權）人: 江西兆馳半導體有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 李素蘭

本實用新型涉及噴淋機械技術領域，尤其涉及一種噴淋裝置以及晶棒切割裝置。其中，該噴淋裝置，包括噴淋管以及至少兩個噴淋嘴，至少兩個噴淋嘴間隔分布在噴淋管上且均連通至噴淋管，噴淋管內液體輸出至各個噴淋嘴。各個噴淋嘴的噴射角度為145°?155°，任意兩個噴淋嘴之間的間距為86mm?96mm。該噴淋裝置通過優化噴淋嘴的噴射角度以及間距，來提升切割液噴灑均勻性，優化降溫、潤滑以及排屑能力。從而達到提升切割良率的效果。

技術領域

本實用新型涉及噴淋機械技術領域，尤其涉及一種噴淋裝置以及晶棒切割裝置。

背景技術

制備藍寶石襯底流程主要包含為切割、研磨、拋光三大領域。其中切割領域最為關鍵，決定襯底切割片源初始的良率及品質。

藍寶石襯底切割的原理是通過一根高速運動的金剛線帶動附著在鋼絲上的金剛石顆粒對藍寶石進行磨削的過程，從而達到切割效果。在整個切割過程中，鋼線通過導線輪的引導，在主線輥上形成一張線網，而切割藍寶石是通過工作臺的下降實現工件的切割。切割過程中，金剛線對藍寶石切割產生大量的熱量及磨削產生的廢料，故在此過程中切割液起到降溫、潤滑、排屑的作用。

目前的噴淋裝置由于噴嘴密度較高，相鄰噴嘴霧狀噴出的切割液相互接觸撞擊后形成水珠，導致沖擊力減弱，切割液噴出霧狀均勻性下降。

實用新型內容

本實用新型實施例為了解決現有技術中的噴淋裝置由于噴嘴密度較高，導致沖擊力減弱，切割液噴出霧狀均勻性下降的技術問題，提供一種噴淋裝置以及晶棒切割裝置。

為了解決上述技術問題，一方面，本實用新型實施例提供了一種噴淋裝置，包括：

噴淋管；以及

至少兩個噴淋嘴，至少兩個所述噴淋嘴間隔分布在所述噴淋管上且均連通至所述噴淋管，所述噴淋管內液體輸出至各個所述噴淋嘴，各個所述噴淋嘴的噴射角度為145°-155°，任意兩個所述噴淋嘴之間的間距為86mm-96mm。

可選地，所述噴淋嘴包括連接部以及與所述連接部相連的液體反射部，所述連接部固定連接至所述噴淋管，所述連接部上設有第一進液孔，所述第一進液孔的進口連通所述噴淋管且其出口對應至所述液體反射部。

可選地，所述連接部的底部設有延伸部，所述液體反射部固定連接在所述延伸部的底部，所述連接部和所述液體反射部之間形成有缺口部。

可選地，所述液體反射部具有反射斜面，所述反射斜面設置在所述第一進液孔的出口的下方，所述延伸部圍擋在所述反射斜面的后側。

可選地，所述連接部的外側面設有連接螺紋以及旋轉操作部，所述旋轉操作部驅動所述連接部旋轉以螺接在所述噴淋管上。

可選地，多個所述噴淋嘴沿直線等距布置在所述噴淋管上。

可選地，所述噴淋管的上設有第二進液孔，所述第二進液孔的孔徑大于所述第一進液孔的孔徑。

另一方面，本實用新型實施例還提供了一種晶棒切割裝置，包括：

線槽輪，所述線槽輪上設有切割線；

活動工作臺，所述活動工作臺用于放置晶棒，所述活動工作臺移動使所述晶棒接觸所述切割線；以及

所述的噴淋裝置，所述噴淋裝置噴射至所述晶棒與所述切割線的接觸處。

可選地，該晶棒切割裝置還包括機座，兩個所述線槽輪相對設置在所述機座上，所述活動工作臺設于兩個所述線槽輪之間，兩個所述噴淋裝置分別設于兩個所述線槽輪的上方，兩個所述噴淋裝置均向所述活動工作臺的方向噴淋。

可選地，所述噴淋裝置的兩端分別設有直角安裝件，所述機座的兩側均具有直角臺階部，兩所述直角安裝件均匹配固定至兩所述直角臺階部上。