[實用新型]一種噴淋裝置以及晶棒切割裝置

有效

• 申請號: 202222385582.2
• 申請日: 2022-09-08
• 公開（公告）號: CN218614806U
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發明（設計）人: 高東升;崔思遠;吳瓊瓊;萬里輝;鐘后芳;沈勇發;金從龍
• 申請（專利權）人: 江西兆馳半導體有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 李素蘭

1.一種噴淋裝置，其特征在于，包括：

噴淋管；以及

至少兩個噴淋嘴，至少兩個所述噴淋嘴間隔分布在所述噴淋管上且均連通至所述噴淋管，所述噴淋管內液體輸出至各個所述噴淋嘴，各個所述噴淋嘴的噴射角度為145°-155°，任意兩個所述噴淋嘴之間的間距為86mm-96mm。

2.如權利要求1所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋嘴包括連接部以及與所述連接部相連的液體反射部，所述連接部固定連接至所述噴淋管，所述連接部上設有第一進液孔，所述第一進液孔的進口連通所述噴淋管且其出口對應至所述液體反射部。

3.如權利要求2所述的噴淋裝置，其特征在于，所述連接部的底部設有延伸部，所述液體反射部固定連接在所述延伸部的底部，所述連接部和所述液體反射部之間形成有缺口部。

4.如權利要求3所述的噴淋裝置，其特征在于，所述液體反射部具有反射斜面，所述反射斜面設置在所述第一進液孔的出口的下方，所述延伸部圍擋在所述反射斜面的后側。

5.如權利要求2所述的噴淋裝置，其特征在于，所述連接部的外側面設有連接螺紋以及旋轉操作部，所述旋轉操作部驅動所述連接部旋轉以螺接在所述噴淋管上。

6.如權利要求1至5中任一項所述的噴淋裝置，其特征在于，多個所述噴淋嘴沿直線等距布置在所述噴淋管上。

7.如權利要求2至5中任一項所述的噴淋裝置，其特征在于，所述噴淋管的上設有第二進液孔，所述第二進液孔的孔徑大于所述第一進液孔的孔徑。

8.一種晶棒切割裝置，其特征在于，包括：

線槽輪，所述線槽輪上設有切割線；

活動工作臺，所述活動工作臺用于放置晶棒，所述活動工作臺移動使所述晶棒接觸所述切割線；以及

如權利要求1至7中任一項所述的噴淋裝置，所述噴淋裝置噴射至所述晶棒與所述切割線的接觸處。

9.如權利要求8所述的晶棒切割裝置，其特征在于，還包括機座，兩個所述線槽輪相對設置在所述機座上，所述活動工作臺設于兩個所述線槽輪之間，兩個所述噴淋裝置分別設于兩個所述線槽輪的上方，兩個所述噴淋裝置均向所述活動工作臺的方向噴淋。

10.如權利要求9所述的晶棒切割裝置，其特征在于，所述噴淋裝置的兩端分別設有直角安裝件，所述機座的兩側均具有直角臺階部，兩所述直角安裝件均匹配固定至兩所述直角臺階部上。