[實用新型]一種晶環(huán)校正裝置及固晶機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222331902.6
• 申請日: 2022-09-01
• 公開（公告）號: CN218602383U
• 公開（公告）日: 2023-03-10
• 發(fā)明（設計）人: 邱國良;張曉偉;王軍建
• 申請（專利權）人: 東莞市凱格精機股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687;H01L21/677
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 杜嘉偉

1.一種晶環(huán)校正裝置，其特征在于，包括支撐板(1)和可轉動安裝于所述支撐板(1)上的轉動環(huán)(2)；

所述轉動環(huán)(2)包括用于承載晶環(huán)的承載環(huán)部(21)、與承載環(huán)部(21)連接的傳動環(huán)部(22)和與所述支撐板(1)轉動連接的安裝環(huán)部(23)；所述承載環(huán)部(21)、所述傳動環(huán)部(22)和所述安裝環(huán)部(23)一體成型；

所述支撐板(1)上還安裝有用于驅動所述轉動環(huán)(2)相對所述支撐板(1)轉動的驅動裝置(3)，所述驅動裝置(3)和所述傳動環(huán)部(22)傳動連接。

2.根據權利要求1所述的晶環(huán)校正裝置，其特征在于，所述傳動環(huán)部(22)的外周面上圓周陣列有傳動齒；

所述驅動裝置(3)包括安裝在所述支撐板(1)上的傳動電機(31)、傳動帶(32)和安裝在所述傳動電機(31)旋轉軸上的主傳動輪(33)；所述傳動帶(32)張緊地設置于所述傳動環(huán)部(22)和所述主傳動輪(33)之間，且所述傳動帶(32)分別嚙合所述傳動齒和所述主傳動輪(33)。

3.根據權利要求1所述的晶環(huán)校正裝置，其特征在于，所述支撐板(1)上設置有圓環(huán)形滑軌，所述安裝環(huán)部(23)可滑動安裝于所述圓環(huán)形滑軌上。

4.根據權利要求1所述的晶環(huán)校正裝置，其特征在于，所述支撐板(1)上圓周陣列有若干個導輪(4)，所述安裝環(huán)部(23)具有環(huán)形凸出部，所述導輪(4)設置有與所述環(huán)形凸出部相匹配的環(huán)形凹槽；

所述導輪(4)可轉動安裝于所述支撐板(1)上，所述環(huán)形凸出部和所述環(huán)形凹槽相貼合，且所述環(huán)形凸出部與所述環(huán)形凹槽滑動連接。

5.根據權利要求1所述的晶環(huán)校正裝置，其特征在于，所述轉動環(huán)(2)上設置有夾持通槽(201)，所述晶環(huán)安裝于所述承載環(huán)部(21)時，所述夾持通槽(201)的槽底低于所述晶環(huán)的底面。

6.根據權利要求1所述的晶環(huán)校正裝置，其特征在于，還包括X向滑軌(51)，所述支撐板(1)與所述X向滑軌(51)滑動連接；

所述晶環(huán)校正裝置還包括用于帶動所述支撐板(1)沿所述X向滑軌(51)滑動的X向驅動結構。

7.根據權利要求6所述的晶環(huán)校正裝置，其特征在于，還包括Y向滑軌(61)和與所述Y向滑軌(61)滑動連接的承載板(62)，所述X向滑軌(51)安裝于所述承載板(62)上；

所述晶環(huán)校正裝置還包括用于帶動所述承載板(62)沿所述Y向滑軌(61)滑動的Y向驅動結構。

8.根據權利要求2所述的晶環(huán)校正裝置，其特征在于，所述支撐板(1)上還設置有張緊所述傳動帶(32)的張緊輪(7)。

9.根據權利要求1所述的晶環(huán)校正裝置，其特征在于，所述支撐板(1)上還設置有用于檢測所述轉動環(huán)(2)轉動角度的傳感器(8)，且所述傳感器(8)與所述驅動裝置(3)電性連接。

10.一種固晶機，其特征在于，包括有如權利要求1-9中任一項所述的晶環(huán)校正裝置。