[實用新型]一種用于光掩模的防靜電破壞結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222297447.2
• 申請日: 2022-08-30
• 公開（公告）號: CN218103608U
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發(fā)明（設計）人: 郭貴琦;張家瑋;韋麗萍
• 申請（專利權）人: 廣州新銳光掩模科技有限公司
• 主分類號: H05F3/00
• 分類號: H05F3/00;G03F1/00
• 代理公司: 北京清大紫荊知識產權代理有限公司 11718
• 代理人: 黎飛鴻;黃貞君

1.一種用于光掩模的防靜電破壞結構，其特征在于，包括設置在光掩模客戶圖形區(qū)周圍的抗靜電環(huán)，所述抗靜電環(huán)設置為沿所述客戶圖形區(qū)外周的絕緣的閉環(huán)結構，所述抗靜電環(huán)用于防止靜電放電破壞所述客戶圖形區(qū)；與所述抗靜電環(huán)的外周相隔一定距離處設有電荷釋放區(qū)，所述電荷釋放區(qū)設置為條形結構，所述條形結構的一端始于所述光掩模的第一邊，所述條形結構的另一端始于所述光掩模的第二邊，所述第一邊與所述第二邊為相對邊，所述電荷釋放區(qū)用于將靜電產生的電荷引到所述客戶圖形區(qū)外進行釋放。

2.根據(jù)權利要求1所述的用于光掩模的防靜電破壞結構，其特征在于，所述電荷釋放區(qū)內包括設計圖形區(qū)和放電棒，所述設計圖形區(qū)的圖案具有標識性；所述放電棒的一端與所述設計圖形區(qū)的邊緣連接，所述放電棒的另一端與所述電荷釋放區(qū)的邊緣相隔一定距離，所述放電棒用于吸引電荷并在所述放電棒尖端放電。

3.根據(jù)權利要求2所述的用于光掩模的防靜電破壞結構，其特征在于，所述放電棒設置為多個，多個所述放電棒均勻平行排列布置。

4.根據(jù)權利要求3所述的用于光掩模的防靜電破壞結構，其特征在于，所述放電棒與相鄰放電棒之間的間距小于等于1000nm。

5.根據(jù)權利要求2所述的用于光掩模的防靜電破壞結構，其特征在于，所述設計圖形區(qū)的面積大于等于4倍所述放電棒的面積。

6.根據(jù)權利要求2所述的用于光掩模的防靜電破壞結構，其特征在于，所述放電棒的另一端與所述電荷釋放區(qū)的邊緣相隔的距離小于1μm。

7.根據(jù)權利要求2-6任一項所述的用于光掩模的防靜電破壞結構，其特征在于，所述放電棒的寬度小于等于1000nm，所述放電棒的長度大于4倍的所述放電棒的寬度。

8.根據(jù)權利要求1所述的用于光掩模的防靜電破壞結構，其特征在于，所述電荷釋放區(qū)設置為兩個，兩個所述電荷釋放區(qū)分別位于所述光掩模的一相對側的邊緣。