[實用新型]一種MEMS微鏡陣列

有效

• 申請號: 202222262196.4
• 申請日: 2022-08-26
• 公開（公告）號: CN218099784U
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發明（設計）人: 李偉;李芳萌;徐靜
• 申請（專利權）人: 安徽中科米微電子技術有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;B81B7/02;B81C1/00
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本實用新型提供一種MEMS微鏡陣列，MEMS微鏡基板包括連接在一起的呈陣列分布的MEMS微鏡，且MEMS微鏡的正面具有電極焊盤；布線基板具有開孔，且布線基板的背面具有焊盤；通過將布線基板固定于MEMS微鏡基板上方，使得焊盤與電極焊盤對應電連接，以實現MEMS微鏡基板與布線基板的直接電連接，且開孔與反射鏡一一對應設置以顯露反射鏡。本實用新型可減少傳輸路徑降低損耗、顯著提高MEMS微鏡陣列的成品率、降低MEMS微鏡陣列的加工制造難度、降低制造成本，從而有助于進一步拓展MEMS微鏡陣列的應用領域。

技術領域

本實用新型涉及微電子機械系統技術領域，特別是涉及一種MEMS微鏡陣列。

背景技術

在光通信系統中，MEMS微鏡已經成為調節或改變光信號的核心元器件。目前，MEMS微鏡已廣泛應用于各種光通信器件中，如可變光衰減器(VOA)、光開關(Switch)、可調濾波器(TF)、波長選擇器(WSS)、光交叉連接器(OXC)等。隨著光通信技術及MEMS技術的快速發展，MEMS微鏡的用途也越來越廣泛。

MEMS微鏡陣列是由多個MEMS微鏡組成的陣列。目前，MEMS微鏡陣列主要用于OXC中。隨著MEMS微鏡陣列技術的日趨成熟，其應用領域也會越來越廣。MEMS微鏡陣列通常是采用MEMS技術同時制作出緊密相連的M×N個MEMS微鏡，各個MEMS微鏡的位置排列一致性非常好，可批量制造，但現有的MEMS微鏡陣列中每一個MEMS微鏡的電極均需要采用TSV(硅通孔)工藝從背面引出，該工藝增加了MEMS微鏡陣列的制造難度，且工藝制造流程也較為復雜，成品率低，價格高。

因此，如何降低MEMS微鏡陣列的制造難度、簡化工藝制造流程、提高制造良率及降低價格，以改善上述缺陷，是亟需解決的問題。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種MEMS微鏡陣列，用于解決現有技術中MEMS微鏡陣列采用TSV電連接所遇到的上述問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種MEMS微鏡陣列，所述MEMS微鏡陣列包括：

MEMS微鏡基板，所述MEMS微鏡基板包括連接在一起的呈陣列分布的MEMS微鏡，且所述MEMS微鏡的正面具有電極焊盤；

布線基板，所述布線基板位于所述MEMS微鏡基板上方，所述布線基板的背面具有焊盤，所述焊盤與所述電極焊盤對應電連接，且所述布線基板具有開孔，所述開孔與所述MEMS微鏡的反射鏡一一對應設置以顯露所述反射鏡。

可選地，所述布線基板的所述開孔中還設置有濾光片。

可選地，所述布線基板包括硅基板、PCB基板及陶瓷基板中的一種。

可選地，所述布線基板設置有與所述焊盤電連接的電極，且所述電極位于所述布線基板的正面、背面及側面中的一種或組合。

可選地，當所述電極位于所述布線基板的側面時，所述MEMS微鏡基板與所述布線基板具有相同尺寸。

可選地，所述MEMS微鏡基板上包括M×N個連接在一起的呈陣列分布的所述MEMS微鏡，其中，M×N的總值大于等于2，所述MEMS微鏡陣列包括平行陣列及交錯陣列中的一種或組合。

可選地，所述MEMS微鏡包括一維運動MEMS微鏡和二維運動MEMS微鏡中的任意一種或組合。

可選地，所述MEMS微鏡包括靜電驅動MEMS微鏡、電磁驅動MEMS微鏡、壓電驅動MEMS微鏡及電熱驅動MEMS微鏡中的任意一種或組合。