[實用新型]一種MEMS微鏡陣列有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202222262196.4 | 申請日： | 2022-08-26 |
| 公開（公告）號： | CN218099784U | 公開（公告）日： | 2022-12-20 |
| 發(fā)明（設計）人： | 李偉;李芳萌;徐靜 | 申請（專利權(quán)）人： | 安徽中科米微電子技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | G02B26/08 | 分類號： | G02B26/08;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 233000 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 mems 陣列 | ||
1.一種MEMS微鏡陣列，其特征在于，所述MEMS微鏡陣列包括：
MEMS微鏡基板，所述MEMS微鏡基板包括連接在一起的呈陣列分布的MEMS微鏡，且所述MEMS微鏡的正面具有電極焊盤；
布線基板，所述布線基板位于所述MEMS微鏡基板上方，所述布線基板的背面具有焊盤，所述焊盤與所述電極焊盤對應電連接，且所述布線基板具有開孔，所述開孔與所述MEMS微鏡的反射鏡一一對應設置以顯露所述反射鏡。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS微鏡陣列，其特征在于：所述布線基板的所述開孔中還設置有濾光片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS微鏡陣列，其特征在于：所述布線基板包括硅基板、PCB基板及陶瓷基板中的一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS微鏡陣列，其特征在于：所述布線基板設置有與所述焊盤電連接的電極，且所述電極位于所述布線基板的正面、背面及側(cè)面中的一種或組合。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的MEMS微鏡陣列，其特征在于：當所述電極位于所述布線基板的側(cè)面時，所述MEMS微鏡基板與所述布線基板具有相同尺寸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS微鏡陣列，其特征在于：所述MEMS微鏡基板上包括M×N個連接在一起的呈陣列分布的所述MEMS微鏡，其中，M×N的總值大于等于2，所述MEMS微鏡陣列包括平行陣列及交錯陣列中的一種或組合。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS微鏡陣列，其特征在于：所述MEMS微鏡包括一維運動MEMS微鏡和二維運動MEMS微鏡中的任意一種或組合。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS微鏡陣列，其特征在于：所述MEMS微鏡包括靜電驅(qū)動MEMS微鏡、電磁驅(qū)動MEMS微鏡、壓電驅(qū)動MEMS微鏡及電熱驅(qū)動MEMS微鏡中的任意一種或組合。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于安徽中科米微電子技術(shù)有限公司，未經(jīng)安徽中科米微電子技術(shù)有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202222262196.4/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：一種硅基材料的包裝攜物裝置
- 下一篇：一種楊克管折彎設備
