[實用新型]一種鉻版光罩周轉箱

有效

• 申請號: 202222255261.0
• 申請日: 2022-08-26
• 公開（公告）號: CN218158721U
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: 劉玉闖;司繼偉;杜武兵
• 申請（專利權）人: 深圳市路維光電股份有限公司
• 主分類號: G03F1/66
• 分類號: G03F1/66
• 代理公司: 成都行之智信知識產權代理有限公司 51256
• 代理人: 李林

本實用新型公開了一種鉻版光罩周轉箱，以解決鉻版光罩在周轉時容易被靜電擊傷的問題，該鉻版光罩周轉箱包括：箱體，所述箱體具有用于裝取鉻版光罩的裝取槽；導電體，所述導電體設置在所述裝取槽內以在裝取鉻版光罩時持續與鉻版光罩接觸，所述導電體具有位于所述箱體外的接地端。本實用新型通過導電體的設置，能夠將產生的靜電釋放到地端，從而可以避免靜電將鉻版光罩擊傷，繼而能夠保證鉻版光罩的產品品質，提高鉻版光罩的產品良率。

技術領域

本實用新型涉及顯示面板制造技術領域，具體而言，涉及一種鉻版光罩周轉箱。

背景技術

隨著顯示技術的發展，對面板產品的精度要求也越來越高。鉻版光罩作為顯示面板行業曝光用的母版，也相應的提高了其制作精度和圖形復雜程度要求。設計圖形關鍵尺寸從3um，提高到1.5um。圖形線條復雜程度升高，導致光罩在生產過程中更容易發生靜電擊傷現象，單從圖案設計上解決靜電擊傷較為困難，因此一般從光罩整個生產過程中逐一采取措施，以降低靜電擊傷現象。

尤其是在光罩生產過程流轉中，需要不停的取放光罩，取放過程中的摩擦，大幅提升了光罩產生靜電的可能性，從而極易使光罩在生產過程中發生靜電擊傷現象。小范圍擊傷，會需要增加線路修補和清洗工序，降低了生產效率，如出現大范圍擊傷，則會導致光罩產品直接報廢，造成巨大的產品損失。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是如何消除鉻版光罩上產生的靜電，目的在于提供一種鉻版光罩周轉箱。

本實用新型通過下述技術方案實現：

一種鉻版光罩周轉箱，包括：

箱體，所述箱體具有用于裝取鉻版光罩的裝取槽；

導電體，所述導電體設置在所述裝取槽內以在裝取鉻版光罩時持續與鉻版光罩接觸，所述導電體具有位于所述箱體外的接地端。

在一種可能的設計中，所述導電體呈箔狀。

在一種可能的設計中，包括連接件，所述連接件與所述導電體連接，所述連接件還與所述箱體可拆卸連接。

在一種可能的設計中，所述連接件可拆卸連接于所述箱體的外側壁上。

在一種可能的設計中，所述連接件與所述箱體卡接。

在一種可能的設計中，所述箱體上設置有把手。

在一種可能的設計中，包括與所述箱體適配的蓋體。

在一種可能的設計中，所述蓋體上設置有用于監測裝取槽內溫度的溫度計。

在一種可能的設計中，所述蓋體上設置有用于監測裝取槽內濕度的濕度計。

在一種可能的設計中，所述導電體為銅件。

本實用新型與現有技術相比，具有如下的優點和有益效果：

1、本實用新型實施例提供的一種鉻版光罩周轉箱，鉻版光罩在裝取過程中與導電體發生持續接觸，導電體與箱體之間由于摩擦產生的靜電經過導電體被釋放到地端，從而避免靜電將鉻版光罩圖形線路擊傷，繼而保證鉻版光罩產品品質，提高鉻版光罩的生產良率。

2、本實用新型實施例提供的一種鉻版光罩周轉箱，結構簡單，實施便捷，成本較低

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型示例性實施方式的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應當理解，以下附圖僅示出了本實用新型的某些實施例，因此不應被看作是對范圍的限定，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他相關的附圖。

圖1為本實用新型實施例提供的鉻版光罩周轉箱的結構示意圖；