[實用新型]一種鉻版光罩周轉箱

有效

• 申請號: 202222255261.0
• 申請日: 2022-08-26
• 公開（公告）號: CN218158721U
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: 劉玉闖;司繼偉;杜武兵
• 申請（專利權）人: 深圳市路維光電股份有限公司
• 主分類號: G03F1/66
• 分類號: G03F1/66
• 代理公司: 成都行之智信知識產權代理有限公司 51256
• 代理人: 李林

1.一種鉻版光罩周轉箱，其特征在于，包括：

箱體(1)，所述箱體(1)具有用于裝取鉻版光罩的裝取槽；

導電體(2)，所述導電體(2)設置在所述裝取槽內以在裝取鉻版光罩時持續與鉻版光罩接觸，所述導電體(2)具有位于所述箱體(1)外的接地端。

2.根據權利要求1所述的一種鉻版光罩周轉箱，其特征在于，所述導電體(2)呈箔狀。

3.根據權利要求1所述的一種鉻版光罩周轉箱，其特征在于，包括連接件(3)，所述連接件(3)與所述導電體(2)連接，所述連接件(3)還與所述箱體(1)可拆卸連接。

4.根據權利要求3所述的一種鉻版光罩周轉箱，其特征在于，所述連接件(3)可拆卸連接于所述箱體(1)的外側壁上。

5.根據權利要求3所述的一種鉻版光罩周轉箱，其特征在于，所述連接件(3)與所述箱體(1)卡接。

6.根據權利要求1所述的一種鉻版光罩周轉箱，其特征在于，所述箱體(1)上設置有把手(4)。

7.根據權利要求1所述的一種鉻版光罩周轉箱，其特征在于，包括與所述箱體(1)適配的蓋體(5)。

8.根據權利要求7所述的一種鉻版光罩周轉箱，其特征在于，所述蓋體(5)上設置有用于監測裝取槽內溫度的溫度計。

9.根據權利要求7或權利要求8所述的一種鉻版光罩周轉箱，其特征在于，所述蓋體(5)上設置有用于監測裝取槽內濕度的濕度計。

10.根據權利要求1所述的一種鉻版光罩周轉箱，其特征在于，所述導電體(2)為銅件。