[實用新型]半導體工藝設備及其副產物收集裝置

有效

• 申請號: 202222251457.2
• 申請日: 2022-08-25
• 公開（公告）號: CN217988410U
• 公開（公告）日: 2022-12-09
• 發明（設計）人: 韓興;李洪利;宋新豐
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B01D5/00
• 分類號: B01D5/00;B65G33/26;H01L21/67
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 周永強

1.一種半導體工藝設備的副產物收集裝置，其特征在于，包括冷凝腔室(100)、副產物收集容器(200)、驅動機構(300)和螺旋輸送件(400)，所述冷凝腔室(100)設有副產物排放孔(110)，所述副產物收集容器(200)通過所述副產物排放孔(110)與所述冷凝腔室(100)連通，所述螺旋輸送件(400)至少部分設于所述冷凝腔室(100)內，且一端部伸至所述副產物排放孔(110)中，所述驅動機構(300)與所述螺旋輸送件(400)相連，用于驅動所述螺旋輸送件(400)轉動，以使所述螺旋輸送件(400)向所述副產物收集容器(200)輸送副產物。

2.根據權利要求1所述的副產物收集裝置，其特征在于，所述螺旋輸送件(400)包括轉軸(410)和螺旋凸起(420)，所述轉軸(410)的第一端部與所述驅動機構(300)相連，所述螺旋凸起(420)螺旋設于所述轉軸(410)的第二端部，所述螺旋凸起(420)至少位于所述副產物排放孔(110)中；

所述螺旋輸送件(400)為兩個，兩個所述螺旋輸送件(400)的所述螺旋凸起(420)嚙合。

3.根據權利要求2所述的副產物收集裝置，其特征在于，兩個所述螺旋輸送件(400)中，一者的所述螺旋凸起(420)與另一者的所述轉軸(410)滾動接觸，兩個所述螺旋輸送件(400)的所述螺旋凸起(420)均與所述冷凝腔室(100)的圍成所述副產物排放孔(110)的內壁滾動接觸，以使在所述轉軸(410)處于靜止狀態下，兩個所述螺旋輸送件(400)之間以及兩個所述螺旋輸送件(400)與所述內壁之間形成密封腔，所述副產物收集容器(200)與所述冷凝腔室(100)可拆卸相連。

4.根據權利要求1所述的副產物收集裝置，其特征在于，所述驅動機構(300)設于所述冷凝腔室(100)之外；

所述螺旋輸送件(400)的第一端部處在所述冷凝腔室(100)之外，且與所述驅動機構(300)相連，或者，所述驅動機構(300)的動力輸出軸穿入所述冷凝腔室(100)內，且與所述螺旋輸送件(400)的第一端部相連；

所述螺旋輸送件(400)的第二端部位于所述冷凝腔室(100)內，且伸至所述副產物排放孔(110)中。

5.根據權利要求4所述的副產物收集裝置，其特征在于，所述驅動機構(300)安裝在所述冷凝腔室(100)上，所述冷凝腔室(100)開設有避讓孔，所述螺旋輸送件(400)的第一端部穿過所述避讓孔而伸至所述冷凝腔室(100)之外，或，所述動力輸出軸穿過所述避讓孔而伸至所述冷凝腔室(100)之內，所述驅動機構(300)與所述避讓孔的外側端口所在的表面之間設有密封件。

6.根據權利要求5所述的副產物收集裝置，其特征在于，所述驅動機構(300)通過安裝支架(500)安裝在所述冷凝腔室(100)上，所述螺旋輸送件(400)的第一端部穿過所述避讓孔和所述安裝支架(500)，且與所述驅動機構(300)相連，或，所述動力輸出軸穿過所述安裝支架(500)和所述避讓孔，且與所述螺旋輸送件(400)的第一端部相連，所述安裝支架(500)與所述避讓孔的外側端口所在的表面之間設有所述密封件。

7.根據權利要求1所述的副產物收集裝置，其特征在于，所述冷凝腔室(100)包括錐形段(120)和等徑段(130)，所述等徑段(130)圍成所述副產物排放孔(110)，所述等徑段(130)的第一端部與所述錐形段(120)的面積較小的端口連通，所述等徑段(130)的第二端部與所述副產物收集容器(200)連通。

8.根據權利要求1所述的副產物收集裝置，其特征在于，所述副產物收集裝置還包括加熱器(600)，所述加熱器(600)設于所述冷凝腔室(100)的外側壁上，用于加熱所述冷凝腔室(100)內的副產物。

9.根據權利要求8所述的副產物收集裝置，其特征在于，所述副產物收集裝置還包括交變電源(700)，所述交變電源(700)與所述加熱器(600)相連，用于驅使所述加熱器(600)的加熱溫度循環變化。

10.一種半導體工藝設備，其特征在于，包括工藝腔室(1000)和權利要求1至9中任一項所述的副產物收集裝置，所述副產物收集裝置的一端與所述工藝腔室(1000)相連，另一端與廠務端相連。