[實(shí)用新型]熱絲折彎結(jié)構(gòu)及熱絲裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202222203970.4
• 申請(qǐng)日: 2022-08-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN219032357U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-05-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戴佳;董雪迪;張武;林佳繼
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 拉普拉斯（無(wú)錫）半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/44
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/44
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 潘登

本實(shí)用新型公開(kāi)了熱絲折彎結(jié)構(gòu)和熱絲裝置，屬于氣相沉積工藝技術(shù)領(lǐng)域。該熱絲折彎結(jié)構(gòu)包括繞絲件，繞絲件具有繞絲槽，繞絲槽的內(nèi)壁包括彎折面，熱絲插接在熱絲槽中，并能夠沿著彎折面發(fā)生彎折以形成預(yù)設(shè)的熱絲工藝形狀，熱絲折彎部位表面至繞絲槽槽口處的距離b不小于熱絲直徑d的2倍。通過(guò)將熱絲的折彎部位設(shè)置在繞絲件的繞絲槽中，既能夠使得熱絲沿著繞絲槽內(nèi)的彎折面發(fā)生彎折，滿足生產(chǎn)所需的熱絲工藝形狀，并且使得氣相沉積過(guò)程中的工藝氣體至少需要流動(dòng)2d的距離才能夠與熱絲折彎部位的表面接觸，從而減少工藝氣體在熱絲折彎部位表面的沉積，減緩熱絲折彎部位的薄膜生成速度，也就能夠減少熱絲于折彎部位損壞的概率，延長(zhǎng)熱絲的使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及氣相沉積工藝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及熱絲折彎結(jié)構(gòu)及熱絲裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的氣相沉積設(shè)備中，熱絲在真空腔內(nèi)的布局是纏繞在陶瓷柱上，并依據(jù)實(shí)際需求折彎，在工作時(shí)熱絲大部分暴露在工藝氣體中。工藝氣體在裂解后一小部分會(huì)沉積在熱絲上，在熱絲的表面形成薄膜。在熱絲的拉直部位，這些薄膜大多數(shù)會(huì)在下一個(gè)工藝周期時(shí)自由掉落，相對(duì)影響較小；而在熱絲的折彎部位上，這些薄膜無(wú)法剝離逐漸堆積，使熱絲的表面逐漸硬化，而熱絲由于高溫會(huì)拉伸變形，由于薄膜的變形量與熱絲不同，表面的薄膜與熱絲之間產(chǎn)生相互作用，進(jìn)而損傷熱絲，使得熱絲的折彎部位易損壞，嚴(yán)重制約了熱絲的使用壽命。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的一個(gè)目的在于提出一種熱絲折彎結(jié)構(gòu)，既能夠滿足折彎熱絲的實(shí)際需求，也能夠減少熱絲折彎部位所受到的損傷，延長(zhǎng)熱絲的使用壽命。

為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)效果，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

熱絲折彎結(jié)構(gòu)，包括繞絲件，所述繞絲件具有繞絲槽，所述繞絲槽的內(nèi)壁包括彎折面，待固定的熱絲能插接在所述繞絲槽中并沿所述彎折面發(fā)生彎折，所述熱絲折彎部位表面至所述繞絲槽的槽口處的距離b不小于所述熱絲直徑d的2倍。

可選地，所述熱絲折彎結(jié)構(gòu)還包括擾流件，所述擾流件設(shè)置于所述繞絲槽中，所述擾流件對(duì)進(jìn)入所述繞絲槽的工藝氣體產(chǎn)生擾流作用。

可選地，所述繞絲槽的寬度c不大于所述熱絲直徑d的1.3倍。

可選地，所述熱絲折彎結(jié)構(gòu)包括一個(gè)所述擾流件，所述擾流件設(shè)置于所述彎折面的法線方向。

可選地，所述擾流件與所述熱絲之間的距離a不小于所述熱絲直徑d的2倍，且所述擾流件與所述熱絲之間的距離a不大于所述熱絲直徑d的5倍。

可選地，所述擾流件垂直于所述熱絲槽寬度方向的截面為圓形、膠囊形和方形中的一種。

可選地，至少部分所述槽口處活動(dòng)設(shè)置有阻流件。

本實(shí)用新型的熱絲折彎結(jié)構(gòu)的有益效果在于：通過(guò)將熱絲的折彎部位設(shè)置在繞絲件的繞絲槽中，既能夠使得熱絲沿著繞絲槽內(nèi)的彎折面發(fā)生彎折，滿足生產(chǎn)所需的熱絲工藝形狀，同時(shí)還能夠防止熱絲因加熱后拉伸變形產(chǎn)生位置變化，進(jìn)而影響生產(chǎn)過(guò)程中氣相沉積工藝的一致性。并且，由于固定在繞絲槽內(nèi)的熱絲折彎部位表面至繞絲槽槽口處的距離b不小于熱絲直徑d的2倍，使得氣相沉積過(guò)程中的工藝氣體至少需要流動(dòng)2d的距離才能夠與熱絲折彎部位的表面接觸，從而減少工藝氣體在熱絲折彎部位表面的沉積，減緩熱絲折彎部位的薄膜生成速度，也就能夠減少熱絲于折彎部位損壞的概率，延長(zhǎng)熱絲的使用壽命。

本實(shí)用新型的另一個(gè)目的在于提出一種熱絲裝置，既能夠滿足折彎熱絲的實(shí)際需求，也能夠減少熱絲折彎部位所受到的損傷，延長(zhǎng)熱絲的使用壽命。

為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)效果，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

熱絲裝置，包括熱絲、熱絲接線柱以及所述的熱絲折彎結(jié)構(gòu)，所述熱絲的端部連接于所述熱絲接線柱，所述熱絲插接在所述熱絲折彎結(jié)構(gòu)的繞絲件的繞絲槽內(nèi)，且所述熱絲沿所述繞絲槽底面的彎折面折彎。