[實用新型]熱絲折彎結構及熱絲裝置有效
| 申請號： | 202222203970.4 | 申請日： | 2022-08-22 |
| 公開（公告）號： | CN219032357U | 公開（公告）日： | 2023-05-16 |
| 發明（設計）人： | 戴佳;董雪迪;張武;林佳繼 | 申請（專利權）人： | 拉普拉斯（無錫）半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/44 | 分類號： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 214192 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 折彎 結構 裝置 | ||
1.熱絲折彎結構，其特征在于，包括繞絲件(1)，所述繞絲件(1)具有繞絲槽(11)，所述繞絲槽(11)的內壁包括彎折面(1111)，待固定的熱絲(2)能插接在所述繞絲槽(11)中并沿所述彎折面(1111)發生彎折，所述熱絲(2)折彎部位表面至所述繞絲槽(11)的槽口處的距離b不小于所述熱絲(2)直徑d的2倍。
2.根據權利要求1所述的熱絲折彎結構，其特征在于，所述熱絲折彎結構還包括擾流件(3)，所述擾流件(3)設置于所述繞絲槽(11)中，所述擾流件(3)對進入所述繞絲槽(11)的工藝氣體產生擾流作用。
3.根據權利要求1所述的熱絲折彎結構，其特征在于，所述繞絲槽(11)的寬度c不大于所述熱絲(2)直徑d的1.3倍。
4.根據權利要求2所述的熱絲折彎結構，其特征在于，所述熱絲折彎結構包括一個所述擾流件(3)，所述擾流件(3)設置于所述彎折面(1111)的法線方向。
5.根據權利要求2所述的熱絲折彎結構，其特征在于，所述擾流件(3)與所述熱絲(2)之間的距離a不小于所述熱絲(2)直徑d的2倍，且所述擾流件(3)與所述熱絲(2)之間的距離a不大于所述熱絲(2)直徑d的5倍。
6.根據權利要求2所述的熱絲折彎結構，其特征在于，所述擾流件(3)垂直于所述熱絲(2)槽寬度方向的截面為圓形、膠囊形和方形中的一種。
7.根據權利要求1-6中任一項所述的熱絲折彎結構，其特征在于，至少部分所述槽口處活動設置有阻流件。
8.熱絲裝置，其特征在于，包括熱絲(2)、熱絲接線柱(6)以及權利要求1-7中任一項所述的熱絲折彎結構，所述熱絲(2)的端部連接于所述熱絲接線柱(6)，所述熱絲(2)插接在所述熱絲折彎結構的繞絲件(1)的繞絲槽(11)內，且所述熱絲(2)沿所述繞絲槽(11)內的彎折面(1111)折彎。
9.根據權利要求8所述的熱絲裝置，其特征在于，所述熱絲裝置包括若干所述熱絲折彎結構，所述熱絲(2)在每一所述熱絲折彎結構中均發生彎折。
10.根據權利要求8所述的熱絲裝置，其特征在于，所述熱絲裝置還包括絕緣隔離件(5)和底座(4)，所述熱絲折彎結構固定連接于所述絕緣隔離件(5)，所述絕緣隔離件(5)固定連接于所述底座(4)，所述底座(4)用于將所述絕緣隔離件(5)固定設置。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
