[實(shí)用新型]坩堝傳動(dòng)組件與晶體生長(zhǎng)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202222196863.3
• 申請(qǐng)日: 2022-08-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN217973488U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-12-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳俊宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 徐州鑫晶半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/10
• 分類號(hào): C30B15/10;C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 于騰昊

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種坩堝傳動(dòng)組件與具有其的晶體生長(zhǎng)裝置。該坩堝傳動(dòng)組件用于晶體生長(zhǎng)裝置中，包括：坩堝軸，所述坩堝軸具有坩堝安裝部；連接軸，所述連接軸與所述坩堝軸通過(guò)螺紋連接；驅(qū)動(dòng)軸，所述驅(qū)動(dòng)軸與所述連接軸通過(guò)螺紋連接，且所述驅(qū)動(dòng)軸還與所述坩堝軸通過(guò)螺紋連接。根據(jù)本實(shí)用新型的坩堝傳動(dòng)組件能避免傳動(dòng)力集中在同一位置的螺牙上，能延長(zhǎng)坩堝軸的使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶體材料制備技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種坩堝傳動(dòng)組件與晶體生長(zhǎng)裝置。

背景技術(shù)

在CZ法(直拉單晶制造法)的單晶生長(zhǎng)中，坩堝的底部設(shè)置有坩堝軸，利用坩堝軸帶動(dòng)坩堝旋轉(zhuǎn)，為避免坩堝軸對(duì)坩堝內(nèi)的熔湯造成污染，坩堝軸一般采用石墨材質(zhì)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)可以通過(guò)與坩堝軸的齒輪傳動(dòng)，驅(qū)動(dòng)坩堝軸轉(zhuǎn)動(dòng)，但是由于石墨材質(zhì)相對(duì)較軟，容易出現(xiàn)傳動(dòng)部位的損壞，嚴(yán)重影響了坩堝軸的使用壽命。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在至少在一定程度上解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述技術(shù)問(wèn)題之一。為此，本實(shí)用新型提出一種坩堝傳動(dòng)組件，能避免傳動(dòng)力集中在同一位置的螺牙上，能延長(zhǎng)坩堝軸的使用壽命。

本實(shí)用新型還提出了一種具有上述坩堝傳動(dòng)組件的晶體生長(zhǎng)裝置。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的坩堝傳動(dòng)組件，所述坩堝傳動(dòng)組件用于晶體生長(zhǎng)裝置中，包括：坩堝軸，所述坩堝軸具有坩堝安裝部；連接軸，所述連接軸與所述坩堝軸通過(guò)螺紋連接；驅(qū)動(dòng)軸，所述驅(qū)動(dòng)軸與所述連接軸通過(guò)螺紋連接，且所述驅(qū)動(dòng)軸還與所述坩堝軸通過(guò)螺紋連接。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的坩堝傳動(dòng)組件，驅(qū)動(dòng)軸的傳動(dòng)力可以被分解成兩個(gè)，一個(gè)是驅(qū)動(dòng)軸直接傳遞給坩堝軸的傳動(dòng)力；一個(gè)是驅(qū)動(dòng)軸施加給連接軸的傳動(dòng)力，然后再通過(guò)連接軸傳遞給坩堝軸；也就是說(shuō)，兩部分的傳動(dòng)力，一部分被坩堝軸的螺紋承擔(dān)，另一部分被連接軸的螺紋承擔(dān)，從而可以避免傳動(dòng)力集中分布在同一位置的螺牙上，可以延長(zhǎng)坩堝軸的使用壽命。

根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述連接軸與所述坩堝軸連接處的螺距為M，所述驅(qū)動(dòng)軸與所述連接軸、所述坩堝軸連接處的螺距為N，且滿足：M≠N。

根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述連接軸與所述坩堝軸連接處的旋向和所述驅(qū)動(dòng)軸與所述連接軸、所述坩堝軸連接處的旋向相同。

根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述坩堝軸包括同軸設(shè)置的本體部和變徑部，所述連接軸與所述變徑部通過(guò)螺紋連接，所述驅(qū)動(dòng)軸與所述連接軸、所述本體部通過(guò)螺紋連接。

根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述連接軸包括第一軸段和第二軸段，所述第一軸段內(nèi)設(shè)有第一內(nèi)螺紋，所述第二軸段內(nèi)設(shè)有第二內(nèi)螺紋，所述變徑部設(shè)有與所述第一軸段的所述第一內(nèi)螺紋配合的第一外螺紋，所述坩堝軸設(shè)有第三內(nèi)螺紋，所述驅(qū)動(dòng)軸設(shè)有分別與所述第二軸段的所述第二內(nèi)螺紋和所述坩堝軸的第三內(nèi)螺紋配合的第二外螺紋。

根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述變徑部的外徑小于所述本體部的外徑，所述本體部設(shè)有第三外螺紋，所述變徑部設(shè)有第四外螺紋，所述驅(qū)動(dòng)軸設(shè)有第四內(nèi)螺紋，所述連接軸設(shè)有第五內(nèi)螺紋和第六外螺紋，所述連接軸通過(guò)所述第五內(nèi)螺紋與所述變徑部的第四外螺紋配合，且所述連接軸通過(guò)所述第六外螺紋與所述驅(qū)動(dòng)軸的所述第四內(nèi)螺紋配合，其中所述連接軸的外徑與所述本體部的外徑相同。

根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述驅(qū)動(dòng)軸上設(shè)有傳動(dòng)板，所述傳動(dòng)板與所述驅(qū)動(dòng)軸固定連接，所述傳動(dòng)板位于所述連接軸的端面，且所述傳動(dòng)板與所述連接軸的端面之間設(shè)有至少一組傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，每組所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)球和彈簧，所述彈簧的一端固定于所述傳動(dòng)板，另一端與所述傳動(dòng)球連接，所述彈簧用于將所述傳動(dòng)球止抵于所述連接軸的端面。

根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述傳動(dòng)板上設(shè)有凹槽，所述彈簧的一端與所述凹槽的底壁連接，所述彈簧的另一端與所述傳動(dòng)球連接，所述傳動(dòng)球至多一半露出所述凹槽；