[實用新型]坩堝傳動組件與晶體生長裝置

有效

• 申請號: 202222196863.3
• 申請日: 2022-08-19
• 公開（公告）號: CN217973488U
• 公開（公告）日: 2022-12-06
• 發明（設計）人: 陳俊宏
• 申請（專利權）人: 徐州鑫晶半導體科技有限公司
• 主分類號: C30B15/10
• 分類號: C30B15/10;C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 于騰昊

1.一種坩堝傳動組件，所述坩堝傳動組件用于晶體生長裝置中，其特征在于，包括：

坩堝軸(1)，所述坩堝軸(1)具有坩堝安裝部(11)；

連接軸(2)，所述連接軸(2)與所述坩堝軸(1)通過螺紋連接；

驅動軸(3)，所述驅動軸(3)與所述連接軸(2)通過螺紋連接，且所述驅動軸(3)還與所述坩堝軸(1)通過螺紋連接。

2.根據權利要求1所述的坩堝傳動組件，其特征在于，所述連接軸(2)與所述坩堝軸(1)連接處的螺距為M，所述驅動軸(3)與所述連接軸(2)、所述坩堝軸(1)連接處的螺距為N，且滿足：M≠N。

3.根據權利要求1所述的坩堝傳動組件，其特征在于，所述連接軸(2)與所述坩堝軸(1)連接處的旋向和所述驅動軸(3)與所述連接軸(2)、所述坩堝軸(1)連接處的旋向相同。

4.根據權利要求1所述的坩堝傳動組件，其特征在于，所述坩堝軸(1)包括同軸設置的本體部(12)和變徑部(13)，所述連接軸(2)與所述變徑部(13)通過螺紋連接，所述驅動軸(3)與所述連接軸(2)、所述本體部(12)通過螺紋連接。

5.根據權利要求4所述的坩堝傳動組件，其特征在于，所述連接軸(2)包括第一軸段(21)和第二軸段(22)，所述第一軸段(21)內設有第一內螺紋，所述第二軸段(22)內設有第二內螺紋，所述變徑部(13)設有與所述第一軸段(21)的所述第一內螺紋配合的第一外螺紋，所述坩堝軸(1)設有第三內螺紋，所述驅動軸(3)設有分別與所述第二軸段(22)的所述第二內螺紋和所述坩堝軸(1)的第三內螺紋配合的第二外螺紋。

6.根據權利要求4所述的坩堝傳動組件，其特征在于，所述變徑部(13)的外徑小于所述本體部(12)的外徑，所述本體部(12)設有第三外螺紋，所述變徑部(13)設有第四外螺紋，所述驅動軸(3)設有第四內螺紋，所述連接軸(2)設有第五內螺紋和第六外螺紋，所述連接軸(2)通過所述第五內螺紋與所述變徑部(13)的第四外螺紋配合，且所述連接軸(2)通過所述第六外螺紋與所述驅動軸(3)的所述第四內螺紋配合，其中所述連接軸(2)的外徑與所述本體部(12)的外徑相同。

7.根據權利要求1-6中任一項所述的坩堝傳動組件，其特征在于，所述驅動軸(3)上設有傳動板(31)，所述傳動板(31)與所述驅動軸(3)固定連接，所述傳動板(31)位于所述連接軸(2)的端面，且所述傳動板(31)與所述連接軸(2)的端面之間設有至少一組傳動機構(35)，每組所述傳動機構(35)包括傳動球(32)和彈簧(33)，所述彈簧(33)的一端固定于所述傳動板(31)，另一端與所述傳動球(32)連接，所述彈簧(33)用于將所述傳動球(32)止抵于所述連接軸(2)的端面。

8.根據權利要求7所述的坩堝傳動組件，其特征在于，所述傳動板(31)上設有凹槽(34)，所述彈簧(33)的一端與所述凹槽(34)的底壁連接，所述彈簧(33)的另一端與所述傳動球(32)連接，所述傳動球(32)至多一半露出所述凹槽(34)；

所述連接軸(2)的朝向所述傳動板(31)的端面上設置弧形卡槽(23)，所述弧形卡槽(23)構造為圓弧段，且所述弧形卡槽(23)的圓心位于所述連接軸(2)的軸線上，所述傳動球(32)的露出所述凹槽(34)的部分容置于所述弧形卡槽(23)內。

9.根據權利要求8所述的坩堝傳動組件，其特征在于，沿著所述驅動軸(3)的旋緊方向，所述弧形卡槽(23)的深度逐漸增加，且所述弧形卡槽(23)的最大深度與所述傳動球(32)的露出所述凹槽(34)的高度相同。

10.一種晶體生長裝置，其特征在于，包括坩堝以及權利要求1-9中任一項所述的坩堝傳動組件，所述坩堝設置于所述坩堝安裝部(11)上。