[實用新型]真空腔門結構及真空設備

有效

• 申請號: 202222187992.6
• 申請日: 2022-08-19
• 公開（公告）號: CN217895730U
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 林佳繼;朱鶴囡;戴佳
• 申請（專利權）人: 拉普拉斯（無錫）半導體科技有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22;C23C16/44
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 潘登

本實用新型公開了一種真空腔門結構及真空設備，真空腔門結構安裝在真空殼體的外側壁上，且用于封閉或者打開真空殼體的開口，真空腔門結構包括安裝架、支架、腔門組件和鎖合組件，安裝架連接在真空殼體上，安裝架上設有沿第一方向延伸的第一滑軌，支架可滑動地設在第一滑軌上，支架上設有沿第二方向延伸設置的第二滑軌，第二方向與第一方向呈夾角設置，腔門組件可滑動地設在第二滑軌上以使得腔門組件能夠封閉開口或者打開開口，鎖合組件連接在真空殼體的外側壁上，鎖合組件用于將腔門組件鎖緊在封閉開口的位置。該真空腔門結構在確保對開口的密封作用下方便開合操作，減輕了操作人員的勞動強度。

技術領域

本實用新型涉及真空設備技術領域，尤其涉及一種真空腔門結構及真空設備。

背景技術

常用的真空設備的開口一般為長方形或者圓形，在實際開合過程中真空腔門結構一般是沿左右方向或者上下方向開合以實現對真空殼體的開口的封閉以及打開，但是這種單方向移動的真空腔門結構應用在大型的真空設備的操作非常不便。具體原因為：確保真空腔門結構對開口的密封性，真空腔門結構后側的密封結構需要抵接在真空殼體上，單方向移動的過程中，真空腔門結構上的密封結構會與真空殼體發生摩擦，產生較大的移動阻力，從而使得操作人員需要使用較大的力才能推動真空腔門結構運動。

實用新型內容

本實用新型的第一個目的在于提出一種真空腔門結構，該真空腔門結構在確保對開口的密封作用下方便開合操作，減輕了操作人員的勞動強度。

本實用新型的第二個目的在于提出一種真空設備，該真空設備的腔門組件開合較為方便，減輕了操作人員的勞動強度。

為實現上述技術效果，本實用新型的技術方案如下：

本實用新型公開了一種真空腔門結構，真空腔門結構安裝在真空殼體的外側壁上，且用于封閉或者打開真空殼體的開口，真空腔門結構包括：安裝架，安裝架連接在真空殼體上，安裝架上設有沿第一方向延伸的第一滑軌；支架，支架可滑動地設在第一滑軌上，支架上設有沿第二方向延伸設置的第二滑軌，第二方向與第一方向呈夾角設置；腔門組件，腔門組件可滑動地設在第二滑軌上以使得腔門組件能夠封閉開口或者打開開口；鎖合組件，鎖合組件連接在真空殼體的外側壁上，鎖合組件用于將腔門組件鎖緊在封閉開口的位置。

在一些實施例中，支架上設有與第一滑軌配合的第一滑塊。

在一些實施例中，第一滑軌上設有用于限位第一滑塊的第一限位塊。

在一些實施例中，腔門組件包括：門本體，門本體用于封閉或者打開開口；把手單元，把手單元連接在門本體上，且把手單元上設有與第二滑軌配合的第二滑塊。

在一些具體的實施例中，把手單元包括：把手支座，把手支座包括連接段和配合段，連接段連接在門本體上，配合段連接在連接段的下方且配合段與第二滑塊相連；把手本體，把手本體設在連接段上。

在一些具體的實施例中，第二滑軌上有用于限位第二滑塊的第二限位塊。

在一些實施例中，支架為多個，多個支架沿第一方向間隔分布，每個支架上均設有一個第二滑軌。

在一些實施例中，安裝架包括多個橫桿和多個豎桿。

在一些實施例中，鎖合組件包括：鎖扣，鎖扣安裝在真空殼體的外側壁上且位于開口的外側，鎖扣上設有鎖槽；鎖桿，鎖桿上設有與鎖槽配合的鎖合頭以及止抵在腔門組件的外側壁上的鎖合部。

本實用新型還公開了一種真空設備，包括前文所述的真空腔門結構和真空殼體，真空殼體內限定出真空腔，真空腔具有開口，真空腔門結構安裝在真空殼體上且用于封閉或者打開開口。