[實用新型]真空腔門結構及真空設備

有效

• 申請號: 202222187992.6
• 申請日: 2022-08-19
• 公開（公告）號: CN217895730U
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 林佳繼;朱鶴囡;戴佳
• 申請（專利權）人: 拉普拉斯（無錫）半導體科技有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22;C23C16/44
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 潘登

1.真空腔門結構，其特征在于，所述真空腔門結構安裝在真空殼體(100)的外側壁上，且用于封閉或者打開所述真空殼體(100)的開口(120)，所述真空腔門結構包括：

安裝架(1)，所述安裝架(1)連接在所述真空殼體(100)上，所述安裝架(1)上設有沿第一方向延伸的第一滑軌(5)；

支架(2)，所述支架(2)可滑動地設在所述第一滑軌(5)上，所述支架(2)上設有沿第二方向延伸設置的第二滑軌(6)，所述第二方向與所述第一方向呈夾角設置；

腔門組件(3)，所述腔門組件(3)可滑動地設在所述第二滑軌(6)上以使得所述腔門組件(3)能夠封閉所述開口(120)或者打開所述開口(120)；

鎖合組件(4)，所述鎖合組件(4)連接在所述真空殼體(100)的外側壁上，所述鎖合組件(4)用于將所述腔門組件(3)鎖緊在封閉所述開口(120)的位置。

2.根據權利要求1所述的真空腔門結構，其特征在于，所述支架(2)上設有與所述第一滑軌(5)配合的第一滑塊(7)。

3.根據權利要求2所述的真空腔門結構，其特征在于，所述第一滑軌(5)上設有用于限位所述第一滑塊(7)的第一限位塊(8)。

4.根據權利要求1所述的真空腔門結構，其特征在于，所述腔門組件(3)包括：

門本體(31)，所述門本體(31)用于封閉或者打開所述開口(120)；

把手單元(32)，所述把手單元(32)連接在所述門本體(31)上，且所述把手單元(32)上設有與所述第二滑軌(6)配合的第二滑塊(9)。

5.根據權利要求4所述的真空腔門結構，其特征在于，所述把手單元(32)包括：

把手支座(321)，所述把手支座(321)包括連接段(3211)和配合段(3212)，所述連接段(3211)連接在所述門本體(31)上，所述配合段(3212)連接在所述連接段(3211)的下方且所述配合段(3212)與所述第二滑塊(9)相連；

把手本體(322)，所述把手本體(322)設在所述連接段(3211)上。

6.根據權利要求4所述的真空腔門結構，其特征在于，所述第二滑軌(6)上有用于限位所述第二滑塊(9)的第二限位塊(10)。

7.根據權利要求1-6中任一項所述的真空腔門結構，其特征在于，所述支架(2)為多個，多個所述支架(2)沿所述第一方向間隔分布，每個所述支架(2)上均設有一個所述第二滑軌(6)。

8.根據權利要求1-6中任一項所述的真空腔門結構，其特征在于，所述安裝架(1)包括多個橫桿(11)和多個豎桿(12)。

9.根據權利要求1-6中任一項所述的真空腔門結構，其特征在于，所述鎖合組件(4)包括：

鎖扣(41)，所述鎖扣(41)安裝在所述真空殼體(100)的外側壁上且位于所述開口(120)的外側，所述鎖扣(41)上設有鎖槽(411)；

鎖桿(42)，所述鎖桿(42)上設有與所述鎖槽(411)配合的鎖合頭(421)以及止抵在所述腔門組件(3)的外側壁上的鎖合部(422)。

10.真空設備，其特征在于，包括如權利要求1-9中任一項所述的真空腔門結構和真空殼體(100)，所述真空殼體(100)內限定出真空腔(110)，所述真空腔(110)具有開口(120)，所述真空腔門結構安裝在所述真空殼體(100)上且用于封閉或者打開所述開口(120)。