[實用新型]一種晶圓理片器

有效

• 申請號: 202222143284.2
• 申請日: 2022-08-15
• 公開（公告）號: CN218215246U
• 公開（公告）日: 2023-01-03
• 發明（設計）人: 劉軍
• 申請（專利權）人: 蘇州宜宸華科工業設備有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/687
• 代理公司: 杭州寒武紀知識產權代理有限公司 33271
• 代理人: 唐克灝

1.一種晶圓理片器，其特征在于，包括

旋轉組件(100)，所述旋轉組件(100)包括機身(110)、電機(120)、轉板(130)、滾輪(140)和卡板(150)，所述電機(120)設置于所述機身(110)一側，所述轉板(130)相對應設置于所述機身(110)一側，所述轉板(130)與所述電機(120)輸出端固定連接，所述滾輪(140)與所述轉板(130)滑動連接，所述卡板(150)與所述機身(110)滑動卡接；

限位組件(200)，所述限位組件(200)包括夾持件(210)，所述夾持件(210)相對應設置于所述機身(110)一側。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓理片器，其特征在于，所述機身(110)一側設置有滑槽(111)，所述機身(110)一側設置有螺桿(112)。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓理片器，其特征在于，所述電機(120)輸出端設置有軸桿(121)，所述軸桿(121)與所述機身(110)轉動連接，且所述軸桿(121)與所述轉板(130)固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓理片器，其特征在于，所述滾輪(140)兩端設置有限位塊(141)，所述限位塊(141)與所述轉板(130)滑動連接。

5.根據權利要求2所述的一種晶圓理片器，其特征在于，所述卡板(150)一端設置有滑塊(151)，所述滑塊(151)與所述滑槽(111)滑動連接，所述螺桿(112)與所述滑塊(151)轉動連接。

6.根據權利要求1所述的一種晶圓理片器，其特征在于，所述夾持件(210)包括豎板(211)、螺紋桿(212)和夾板(213)，所述螺紋桿(212)與所述豎板(211)螺紋連接，所述夾板(213)與所述螺紋桿(212)轉動連接。

7.根據權利要求6所述的一種晶圓理片器，其特征在于，所述豎板(211)一側設置有螺紋槽(2111)，所述螺紋桿(212)與所述螺紋槽(2111)螺紋連接。

8.根據權利要求7所述的一種晶圓理片器，其特征在于，所述夾板(213)一側設置有防護墊(2131)。