[實用新型]一種晶圓理片器

有效

• 申請號: 202222143284.2
• 申請日: 2022-08-15
• 公開（公告）號: CN218215246U
• 公開（公告）日: 2023-01-03
• 發明（設計）人: 劉軍
• 申請（專利權）人: 蘇州宜宸華科工業設備有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/687
• 代理公司: 杭州寒武紀知識產權代理有限公司 33271
• 代理人: 唐克灝

本申請提供了一種晶圓理片器，屬于晶圓理片器技術領域。該晶圓理片器包括旋轉組件和限位組件，通過夾持件對晶圓花籃機械能夾持固定，防止晶圓花籃出現晃動和偏移的作用，通過滾輪和晶圓片邊緣的摩擦帶動晶圓片沿逆時針旋轉，當晶圓片卡口接觸到卡板時，通過晶圓片自身的重力作用，晶圓片不再旋轉，待所有晶圓片都不再旋轉后，通過調節卡板的位置來使晶圓片卡口到達需要停留的位置，直接將滾輪與轉板分離，安裝時通過滾輪兩端與轉板的滑動摩擦力可以對滾輪進行定位，防止滾輪在轉動時脫離轉板，進而方便對滾輪進行拆卸或者更換，同時方便對晶圓花籃進行限位，防止晶圓花籃出現晃動的現象，從而提高了實用性。

技術領域

本申請涉及晶圓理片器領域，具體而言，涉及一種晶圓理片器。

背景技術

晶圓片，又稱硅晶片，是由硅錠加工而成的，通過專門的工藝可以在硅晶片上可是刻蝕出數以萬計的晶體管，被廣泛應用于集成電路的制造。這些被刻蝕出來的晶體管比人的頭發要細小上百倍。半導體通過控制電流來管理數據，形成各種文字、數字、聲音、圖像和色彩。他們被廣泛用于集成電路，并間接地被地球上的每個人使用，如中國專利申請號為CN201720243701.7的一種晶圓片理片器，包括機身，所述的機身內左側位置安裝有滾輪，滾輪為抗靜電硅膠滾輪，滾輪與安裝于機身外側的驅動裝置聯動，驅動裝置為手動或電動裝置，機身內右側位置安裝有卡板，卡板與安裝于機身右端外側的卡板限位裝置接觸，機身內側設置有階梯式橫條；本實用新型的有益效果：本實用新型解決了依靠人工一片一片核對晶圓片槽口，以及人工比對槽口不準，效率低的困擾，大大提高了工作效率和精度，降低人工的工作強度。

但是上述方案仍然具有一定的缺陷：首先滾輪長時間使用與晶圓片摩擦表面會出現磨損，影響使用效果，不方便對滾輪進行拆卸或者更換，其次晶圓花籃是直接放置在機身上，缺乏對晶圓花籃限位的結構，導致滾輪轉動時容易使晶圓花籃出現晃動的現象，從而降低了實用性。

實用新型內容

為了彌補以上不足，本申請提供一種晶圓理片器，旨在改善相關技術中不方便對滾輪進行拆卸或者更換，其次晶圓花籃是直接放置在機身上，缺乏對晶圓花籃限位的結構，導致滾輪轉動時容易使晶圓花籃出現晃動的現象，從而降低了實用性的問題。

本申請實施例提供了一種晶圓理片器包括旋轉組件和限位組件。

所述壓縮機表面設置有管道，所述旋轉組件包括機身、電機、轉板、滾輪和卡板，所述電機設置于所述機身一側，所述轉板相對應設置于所述機身一側，所述轉板與所述電機輸出端固定連接，所述滾輪與所述轉板滑動連接，所述卡板與所述機身滑動卡接，所述限位組件包括夾持件，所述夾持件相對應設置于所述機身一側。

在一種具體的實施方案中，所述機身一側設置有滑槽，所述機身一側設置有螺桿。

在上述實現過程中，機身一側設置有滑槽，設置滑槽可以起到限位的作用，設置螺桿可以起到調節的作用。

在一種具體的實施方案中，所述電機輸出端設置有軸桿，所述軸桿與所述機身轉動連接，且所述軸桿與所述轉板固定連接。

在上述實現過程中，電機輸出端設置有軸桿，設置軸桿可以起到連接的作用，可以帶動轉板進行轉動。

在一種具體的實施方案中，所述滾輪兩端設置有限位塊，所述限位塊與所述轉板滑動連接。

在上述實現過程中，滾輪兩端設置有限位塊，通過兩端限位塊與轉板進行連接，限位塊與轉板滑動連接時會出現滑動摩擦力，而滑動摩擦力可以防止滾輪在轉動時與轉板脫離，相當于起到卡接的作用，并且可以起到方便拆卸和更換的作用。

在一種具體的實施方案中，所述卡板一端設置有滑塊，所述滑塊與所述滑槽滑動連接，所述螺桿與所述滑塊轉動連接。

在上述實現過程中，卡板一端設置有滑塊，設置滑塊可以起到支撐的作用，通過轉動螺桿可以對卡板進行位置調節。