[實用新型]一種具有限位結構的光學薄膜厚度檢測裝置

有效

• 申請號: 202222110925.4
• 申請日: 2022-08-11
• 公開（公告）號: CN217877566U
• 公開（公告）日: 2022-11-22
• 發明（設計）人: 陳茉莉;鄒彤
• 申請（專利權）人: 深圳市質立科技有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 深圳華屹智林知識產權代理事務所(普通合伙) 44785
• 代理人: 華江瑞

本實用新型公開了一種具有限位結構的光學薄膜厚度檢測裝置，包括裝置基座，其正上方螺栓固定有檢測箱體，且檢測箱體的上表面膠合連接有LED屏幕，所述LED屏幕的左右兩側電線連接有光纖光譜儀，還包括：檢測機構，其嵌套固定在檢測箱體的左側，且檢測箱體的右側嵌套連接有儲料機構，所述檢測機構的正下方軸連接有輔助滾輪；薄膜樣品，其設置在儲料機構的內部，且檢測箱體的內壁螺栓固定有橫向基板，所述橫向導桿的外側嵌套連接有儲料機構。該具有限位結構的光學薄膜厚度檢測裝置，設置有橫向夾持條及夾持面板，一方面夾持面板通過外側的膜插槽對膜體的其中一側進行卡合定位，避免膜體在照射及厚度測量時發生晃動情況。

技術領域

本實用新型涉及光學薄膜技術領域，具體為一種具有限位結構的光學薄膜厚度檢測裝置。

背景技術

光學薄膜是附著在光學元件表面的介質薄膜，基于薄膜內光的干涉效應來改變透射光或反射光的光強，光學薄膜的厚度對其本身性能以及應用效果有著很大的影響，所以需要裝置對光學薄膜厚度進行檢測。

薄膜厚度檢測裝置在使用過程中，雖然現有的光學薄膜厚度測量方法有很多，但是非光學的方法會對樣品造成損傷，許多光學的方法操作方法復雜，測量受到諸多條件限制，在使用過程中，主要對激光發射頭與薄膜樣品相互對齊，但薄膜樣品本身為柔性材質，在檢測的過程中，會因為膜體的表面受到擠壓力，會造成膜體的內部發生彎曲情況，導致激光發射頭發射的激光進入到膜體的內部，會導致激光信號本身發生扭曲情況，導致膜體測量的信號誤差增加。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種具有限位結構的光學薄膜厚度檢測裝置，以解決上述背景技術中提出膜樣品本身為柔性材質，在檢測的過程中，會因為膜體的表面受到擠壓力，會造成膜體的內部發生彎曲情況，導致激光發射頭發射的激光進入到膜體的內部，會導致激光信號本身發生扭曲情況，導致膜體測量的信號誤差增加的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種具有限位結構的光學薄膜厚度檢測裝置，包括裝置基座，其正上方螺栓固定有檢測箱體，且檢測箱體的上表面膠合連接有LED屏幕，所述LED屏幕的左右兩側電線連接有光纖光譜儀，還包括：檢測機構，其嵌套固定在檢測箱體的左側，且檢測箱體的右側嵌套連接有儲料機構，所述檢測機構的正下方軸連接有輔助滾輪；薄膜樣品，其設置在儲料機構的內部，橫向導桿，其焊接固定在檢測箱體的內部，且檢測箱體的內壁螺栓固定有橫向基板，所述橫向導桿的外側嵌套連接有儲料機構。

優選的，所述檢測箱體與儲料機構相互平行，且檢測箱體的左右兩側采用矩形開口式結構，并且檢測箱體與橫向導桿焊接為一體式結構，通過儲料機構在檢測箱體內部進行滑動，對發射激光的距離進行調節。

優選的，所述檢測機構的內部包括有控制手柄和a矩形導槽，控制手柄，其焊接固定在檢測機構左側，調校軸，其嵌套固定在橫向托板左側，且橫向托板的右側軸連接有調校轉盤；a矩形導槽，其貫穿開設在橫向托板上表面，且a矩形導槽的外側嵌套連接有圓形導塊，所述圓形導塊的外側嵌套連接有激光發射頭。

優選的，所述激光發射頭與圓形導塊通過a矩形導槽和橫向托板構成滑動結構，且激光發射頭與圓形導塊的數量為3組，并且圓形導塊和a矩形導槽為相互貼合，使得激光發射頭與薄膜樣品對齊，使得激光直接射入薄膜樣品的內部。

優選的，所述儲料機構的內部包括有伸縮氣缸和橫向夾持條；伸縮氣缸，其輸出端螺栓固定有夾持面板，且夾持面板的上表面開設有膜插槽，所述夾持面板的正下方螺栓固定有輔助滑塊；橫向夾持條，其上表面膠合連接有橡膠條，儲料機構，其上表面開設有b矩形導槽，且b矩形導槽的內部嵌套連接有輔助滑塊。

優選的，所述橡膠條等間距設置在橫向夾持條外側，且橡膠條的縱截面為“U”字型結構，并且橡膠條與膜插槽相互平行，而且膜插槽的寬度為夾持面板寬度一半，通過膜插槽對不同寬度的薄膜樣品進行定位處理。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：