[實用新型]一種具有限位結構的光學薄膜厚度檢測裝置

有效

• 申請號: 202222110925.4
• 申請日: 2022-08-11
• 公開（公告）號: CN217877566U
• 公開（公告）日: 2022-11-22
• 發明（設計）人: 陳茉莉;鄒彤
• 申請（專利權）人: 深圳市質立科技有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 深圳華屹智林知識產權代理事務所(普通合伙) 44785
• 代理人: 華江瑞

1.一種具有限位結構的光學薄膜厚度檢測裝置，包括裝置基座(1)，其正上方螺栓固定有檢測箱體(2)，且檢測箱體(2)的上表面膠合連接有LED屏幕(3)，所述LED屏幕(3)的左右兩側電線連接有光纖光譜儀(4)，其特征在于：還包括：

檢測機構(5)，其嵌套固定在檢測箱體(2)的左側，且檢測箱體(2)的右側嵌套連接有儲料機構(6)，所述檢測機構(5)的正下方軸連接有輔助滾輪(7)；

薄膜樣品(8)，其設置在儲料機構(6)的內部，橫向導桿(9)，其焊接固定在檢測箱體(2)的內部，且檢測箱體(2)的內壁螺栓固定有橫向基板(10)，所述橫向導桿(9)的外側嵌套連接有儲料機構(6)。

2.根據權利要求1所述的一種具有限位結構的光學薄膜厚度檢測裝置，其特征在于：所述檢測箱體(2)與儲料機構(6)相互平行，且檢測箱體(2)的左右兩側采用矩形開口式結構，并且檢測箱體(2)與橫向導桿(9)焊接為一體式結構。

3.根據權利要求1所述的一種具有限位結構的光學薄膜厚度檢測裝置，其特征在于：所述檢測機構(5)的內部包括有控制手柄(51)和a矩形導槽(55)，

控制手柄(51)，其焊接固定在檢測機構(5)左側，調校軸(52)，其嵌套固定在橫向托板(53)左側，且橫向托板(53)的右側軸連接有調校轉盤(57)；

a矩形導槽(55)，其貫穿開設在橫向托板(53)上表面，且a矩形導槽(55)的外側嵌套連接有圓形導塊(54)，所述圓形導塊(54)的外側嵌套連接有激光發射頭(56)。

4.根據權利要求3所述的一種具有限位結構的光學薄膜厚度檢測裝置，其特征在于：所述激光發射頭(56)與圓形導塊(54)通過a矩形導槽(55)和橫向托板(53)構成滑動結構，且激光發射頭(56)與圓形導塊(54)的數量為3組，并且圓形導塊(54)和a矩形導槽(55)為相互貼合。

5.根據權利要求1所述的一種具有限位結構的光學薄膜厚度檢測裝置，其特征在于：所述儲料機構(6)的內部包括有伸縮氣缸(61)和橫向夾持條(63)；

伸縮氣缸(61)，其輸出端螺栓固定有夾持面板(62)，且夾持面板(62)的上表面開設有膜插槽(66)，所述夾持面板(62)的正下方螺栓固定有輔助滑塊(67)；

橫向夾持條(63)，其上表面膠合連接有橡膠條(64)，儲料機構(6)，其上表面開設有b矩形導槽(65)，且b矩形導槽(65)的內部嵌套連接有輔助滑塊(67)。

6.根據權利要求5所述的一種具有限位結構的光學薄膜厚度檢測裝置，其特征在于：所述橡膠條(64)等間距設置在橫向夾持條(63)外側，且橡膠條(64)的縱截面為“U”字型結構，并且橡膠條(64)與膜插槽(66)相互平行，而且膜插槽(66)的寬度為夾持面板(62)寬度一半。