[實(shí)用新型]一種單晶爐有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202222107237.2 | 申請日: | 2022-08-09 |
| 公開(公告)號(hào): | CN218291179U | 公開(公告)日: | 2023-01-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 朱永剛;李僑;董升;曹杰;張偉建;白鋒 | 申請(專利權(quán))人: | 隆基綠能科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | C30B15/20 | 分類號(hào): | C30B15/20;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京潤澤恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11319 | 代理人: | 趙娟 |
| 地址: | 710100 陜西*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 單晶爐 | ||
本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種單晶爐,所述單晶爐包括爐體和傳熱組件,爐體用于單晶硅棒的生長;沿所述爐體的軸線方向,所述傳熱組件設(shè)置在所述爐體內(nèi),所述傳熱組件包括傳熱件;所述傳熱件用于與所述單晶硅棒接觸,并傳導(dǎo)所述單晶硅棒的熱量。本實(shí)施例的單晶爐可快速降低單晶硅棒溫度,使得拉晶速度可以進(jìn)一步提高,并且單晶硅棒四周不會(huì)產(chǎn)生碰撞風(fēng)險(xiǎn),因此,這種單晶爐能夠兼具較高拉晶速度和較高拉晶質(zhì)量。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及單晶硅拉晶技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種單晶爐。
背景技術(shù)
隨著光伏市場上產(chǎn)品需求的增加,拉晶工廠聚焦在提升單晶硅棒的產(chǎn)能上。
提升單晶硅棒的產(chǎn)能的一個(gè)途徑便是提升拉晶速度來提高生產(chǎn)效率。目前主流的提升拉晶速度的方式便是,利用籽晶從單晶爐內(nèi)的坩堝硅熔體中生長單晶硅棒,在單晶硅棒生長過程中,需要利用單晶爐內(nèi)設(shè)置的水冷屏對其進(jìn)行冷卻,以提高單晶硅棒生長的縱向溫度梯度,從而提高拉晶速度。這種非接觸輻射換熱結(jié)構(gòu)可以形成固液界面的溫度梯度,能夠降低單晶硅棒溫度,使拉晶速度最大提升至1.9mm/min。為了進(jìn)一步提高拉晶速度,也嘗試通過改變水冷屏結(jié)構(gòu)使其盡可能靠近單晶硅棒。
然而,通過改變水冷屏結(jié)構(gòu)對于拉晶速度的提升較為有限,且容易與單晶硅棒發(fā)生碰撞,導(dǎo)致斷線甚至掉棒,出現(xiàn)拉晶缺陷甚至事故。因此亟需開發(fā)一種能實(shí)現(xiàn)更高拉晶速度且保證拉晶質(zhì)量的單晶爐。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型提供一種單晶爐,旨在解決現(xiàn)有單晶爐中的非接觸輻射換熱結(jié)構(gòu)難以兼具較高拉晶速度和較高拉晶質(zhì)量的問題。
本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種單晶爐,所述單晶爐包括爐體和傳熱組件,所述爐體用于單晶硅棒的生長;
沿所述爐體的軸線方向,所述傳熱組件設(shè)置在所述爐體內(nèi);
所述傳熱組件用于與所述單晶硅棒接觸,并傳導(dǎo)所述單晶硅棒的熱量。
可選地,所述傳熱組件包括傳熱件,所述傳熱件包括穿設(shè)于所述爐體內(nèi)的筒體;
所述筒體用于與所述單晶硅棒接觸,并傳導(dǎo)所述單晶硅棒的熱量。
可選地,所述傳熱組件還包括導(dǎo)熱件,所述導(dǎo)熱件設(shè)置于所述傳熱件上和/或所述爐體的內(nèi)表面。
可選地,所述導(dǎo)熱件的材質(zhì)包括碳碳材質(zhì)、石墨材質(zhì)和硅脂中任意一種。可選地,所述筒體的內(nèi)徑小于所述單晶硅棒的直徑;
所述傳熱件還包括設(shè)置于所述筒體外表面的凸緣,所述凸緣沿所述筒體徑向朝背離軸線的方向延伸,所述凸緣用于與所述爐體抵接配合;
所述單晶硅棒的頭部與所述筒體的端部接觸推動(dòng)所述凸緣與所述爐體分離。
可選地,所述導(dǎo)熱件固定于所述傳熱件的外表面,和/或,所述導(dǎo)熱件固定于所述爐體的內(nèi)表面。
可選地,所述傳熱件還包括壓板;
所述凸緣設(shè)置于所述筒體的一端;
所述導(dǎo)熱件沿所述凸緣的周向設(shè)置于所述凸緣背離所述筒體的表面,所述壓板疊放于所述凸緣上以夾持固定所述導(dǎo)熱件。
可選地,所述筒體的內(nèi)徑大于所述單晶硅棒的直徑;
所述單晶硅棒穿過所述筒體,所述筒體將所述硅棒的熱量傳導(dǎo)至所述爐體。
可選地,所述筒體的內(nèi)表面和外表面均設(shè)置有所述導(dǎo)熱件;
所述筒體的內(nèi)表面的導(dǎo)熱件用于與所述單晶硅棒接觸,所述筒體的外表面的導(dǎo)熱件用于與所述爐體接觸。
可選地,所述單晶爐還包括旋轉(zhuǎn)組件;
所述旋轉(zhuǎn)組件與所述爐體連接,所述旋轉(zhuǎn)組件用于驅(qū)動(dòng)所述傳熱件相對所述爐體轉(zhuǎn)動(dòng)。
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