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[實(shí)用新型]一種單晶爐有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202222107237.2 申請日: 2022-08-09
公開(公告)號: CN218291179U 公開(公告)日: 2023-01-13
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 朱永剛;李僑;董升;曹杰;張偉建;白鋒 申請(專利權(quán))人: 隆基綠能科技股份有限公司
主分類號: C30B15/20 分類號: C30B15/20;C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 北京潤澤恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11319 代理人: 趙娟
地址: 710100 陜西*** 國省代碼: 陜西;61
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 單晶爐
【權(quán)利要求書】:

1.一種單晶爐,其特征在于,所述單晶爐包括爐體和傳熱組件,所述爐體用于單晶硅棒的生長;

沿所述爐體的軸線方向,所述傳熱組件設(shè)置在所述爐體內(nèi);

所述傳熱組件用于與所述單晶硅棒接觸,并傳導(dǎo)所述單晶硅棒的熱量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐,其特征在于,所述傳熱組件包括傳熱件,所述傳熱件包括穿設(shè)于所述爐體內(nèi)的筒體;

所述筒體用于與所述單晶硅棒接觸,并傳導(dǎo)所述單晶硅棒的熱量。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐,其特征在于,所述傳熱組件還包括導(dǎo)熱件,所述導(dǎo)熱件設(shè)置于所述傳熱件上和/或所述爐體的內(nèi)表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶爐,其特征在于,所述導(dǎo)熱件的材質(zhì)包括碳碳材質(zhì)、石墨材質(zhì)和硅脂中任意一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶爐,其特征在于,所述筒體的內(nèi)徑小于所述單晶硅棒的直徑;

所述傳熱件還包括設(shè)置于所述筒體外表面的凸緣,所述凸緣沿所述筒體徑向朝背離軸線的方向延伸,所述凸緣用于與所述爐體抵接配合;

所述單晶硅棒的頭部與所述筒體的端部接觸推動所述凸緣與所述爐體分離。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的單晶爐,其特征在于,所述導(dǎo)熱件固定于所述傳熱件的外表面,和/或,所述導(dǎo)熱件固定于所述爐體的內(nèi)表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單晶爐,其特征在于,所述傳熱件還包括壓板;

所述導(dǎo)熱件沿所述凸緣的周向設(shè)置于所述凸緣背離所述單晶硅棒的表面,所述壓板疊放于所述凸緣上以夾持固定所述導(dǎo)熱件。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶爐,其特征在于,所述筒體的內(nèi)徑大于所述單晶硅棒的直徑;

所述單晶硅棒穿過所述筒體,所述筒體將所述單晶硅棒的熱量傳導(dǎo)至所述爐體。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的單晶爐,其特征在于,所述筒體的內(nèi)表面和外表面均設(shè)置有所述導(dǎo)熱件;

所述筒體的內(nèi)表面的導(dǎo)熱件用于與所述單晶硅棒接觸,所述筒體的外表面的導(dǎo)熱件用于與所述爐體接觸。

10.根據(jù)權(quán)利要求2至9任一項(xiàng)所述的單晶爐,其特征在于,所述單晶爐還包括旋轉(zhuǎn)組件;

所述旋轉(zhuǎn)組件與所述爐體連接,所述旋轉(zhuǎn)組件用于驅(qū)動所述傳熱件相對所述爐體轉(zhuǎn)動。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的單晶爐,其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)組件包括外定子和內(nèi)轉(zhuǎn)子;

所述外定子與所述爐體固定連接,所述內(nèi)轉(zhuǎn)子穿設(shè)于所述外定子內(nèi)且與所述外定子轉(zhuǎn)動連接;

所述內(nèi)轉(zhuǎn)子用于驅(qū)動所述傳熱件相對所述爐體轉(zhuǎn)動。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的單晶爐,其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)組件包括轉(zhuǎn)動環(huán)和回轉(zhuǎn)傳動機(jī)構(gòu);

所述回轉(zhuǎn)傳動機(jī)構(gòu)與所述爐體固定連接,所述回轉(zhuǎn)傳動機(jī)構(gòu)用于帶動所述轉(zhuǎn)動環(huán)相對所述爐體轉(zhuǎn)動;

所述轉(zhuǎn)動環(huán)用于驅(qū)動所述傳熱件相對所述爐體轉(zhuǎn)動。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的單晶爐,其特征在于,所述傳熱件的轉(zhuǎn)速與所述單晶硅棒的轉(zhuǎn)速相同。

14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的單晶爐,其特征在于,所述爐體包括爐體主室、爐體副室和隔離閥;

所述隔離閥連接于所述爐體主室和所述爐體副室之間;

所述旋轉(zhuǎn)組件設(shè)置于所述隔離閥與所述爐體主室之間,或,所述旋轉(zhuǎn)組件設(shè)置于所述隔離閥與所述爐體副室之間。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的單晶爐,其特征在于,所述爐體副室的側(cè)壁設(shè)置有水冷散熱結(jié)構(gòu)。

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