[實用新型]一種自動搖盤機(jī)的芯片防漏裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202222086033.5 | 申請日: | 2022-08-09 |
| 公開(公告)號: | CN217881423U | 公開(公告)日: | 2022-11-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 崔群;王毅;胡學(xué)同;李海琳;陸葉興 | 申請(專利權(quán))人: | 泗洪紅芯半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 成都瑞創(chuàng)華盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 51270 | 代理人: | 鄧瑞 |
| 地址: | 223900 江蘇省宿遷市泗*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 動搖 芯片 防漏 裝置 | ||
1.一種自動搖盤機(jī)的芯片防漏裝置,包括搖盤機(jī)本體(1),其特征在于:所述搖盤機(jī)本體(1)內(nèi)開設(shè)有凹槽(8),所述搖盤機(jī)本體(1)內(nèi)設(shè)置有抵板(4),所述抵板(4)的側(cè)面設(shè)置有篩盤(2),所述抵板(4)與篩盤(2)相抵,所述搖盤機(jī)本體(1)的內(nèi)壁設(shè)置有連接桿(6),所述搖盤機(jī)本體(1)的內(nèi)壁與篩盤(2)的接縫處設(shè)置有夾條(3),所述夾條(3)內(nèi)開設(shè)有卡槽(5),所述連接桿(6)延伸至卡槽(5)內(nèi),所述連接桿(6)與卡槽(5)卡接,所述篩盤(2)內(nèi)開設(shè)有通孔(9),所述搖盤機(jī)本體(1)內(nèi)設(shè)置有支撐板(7),所述支撐板(7)設(shè)置在抵板(4)的底部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動搖盤機(jī)的芯片防漏裝置,其特征在于:所述卡槽(5)和連接桿(6)的形狀均為L型,所述卡槽(5)與連接桿(6)位置相對,所述卡槽(5)和連接桿(6)的尺寸相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動搖盤機(jī)的芯片防漏裝置,其特征在于:所述通孔(9)設(shè)置有多個,多個所述通孔(9)均等距分布在篩盤(2)內(nèi),多個所述通孔(9)的半徑均相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動搖盤機(jī)的芯片防漏裝置,其特征在于:所述支撐板(7)設(shè)置有兩個,兩個所述支撐板(7)的位置相對,兩個所述支撐板(7)的材質(zhì)為不銹鋼。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動搖盤機(jī)的芯片防漏裝置,其特征在于:所述夾條(3)的兩側(cè)分別與搖盤機(jī)本體(1)和篩盤(2)相抵,所述夾條(3)的形狀為矩形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動搖盤機(jī)的芯片防漏裝置,其特征在于:所述抵板(4)設(shè)置有兩個,兩個所述抵板(4)分別設(shè)置在搖盤機(jī)本體(1)的兩側(cè),兩個所述抵板(4)的型號均相同。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動搖盤機(jī)的芯片防漏裝置,其特征在于:所述篩盤(2)設(shè)置在搖盤機(jī)本體(1)的中心處,所述篩盤(2)的材質(zhì)為鋁合金,兩個所述支撐板(7)均設(shè)置在篩盤(2)的底部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動搖盤機(jī)的芯片防漏裝置,其特征在于:所述夾條(3)設(shè)置在兩個抵板(4)的側(cè)面,兩個所述抵板(4)均與夾條(3)相抵。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





