[實用新型]一種用于晶圓解膠的UV照射機

有效

• 申請號: 202222042869.5
• 申請日: 2022-08-04
• 公開（公告）號: CN217788351U
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發明（設計）人: 劉勝英;徐長遠
• 申請（專利權）人: 沈陽漢為科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京盛凡佳華專利代理事務所(普通合伙) 11947
• 代理人: 胡紅濤

本實用新型公開的屬于晶圓切片技術領域，具體為一種用于晶圓解膠的UV照射機，包括外框架和流水線，所述流水線貫穿框架，所述外框架的內腔前后側均安裝有導向桿，兩側所述導向桿的上方活動安裝有滑行機構，所述滑行機構的本體上安裝有LED燈，本裝置在框架的內腔中設置有導向桿，然后將滑行機構與導向桿活動連接，滑行機構可以帶著LED燈沿著導向桿進行移動，通過調節滑行機構的位置，可以使得當晶圓需要照射時，晶圓正好流動到滑行機構的下方，從而使得LED燈可以對晶圓進行照射解膠，進而使得UV照射機可以對不同規格的晶圓進行解膠。

技術領域

本實用新型涉及晶圓切片技術領域，具體為一種用于晶圓解膠的UV照射機。

背景技術

UVLED光源照射機簡稱UV照射機，它是一種可根據需要選擇365nm、385nm、395nm、405nm波長的不同功率的LED。晶圓在切片過程中，需要先用UV膠把晶圓固定起來，然后進行劃片加工處理，隨后通過UV照射機對固定好的晶圓進行照射，使晶元上的UV膠膜發生硬化，這時晶圓與UV膠膜之間的粘性便會降低，從而使得UV膠膜可以被從晶圓切片上取下來。

UV照射機中采用多個獨立的LED照射頭組成多個獨立工位，這樣可以通過電腦編程模式來控制LED照射頭的照射次序及照射功率，從而減少人為操作而導致的時間誤差，但是現有的UV照射機中的多個獨立LED照射頭均是固定的，晶圓在流水線上移動時，受于移動速度限制，當對其它規格的晶圓進行解膠時，會出現在尚未到達照射時間時，晶圓就流動到LED照射頭的下方情況，此時會導致晶圓無法被正常照射。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于晶圓解膠的UV照射機，以解決上述背景技術中提出的現有的UV照射機中的多個獨LED照射頭無法移動的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種用于晶圓解膠的UV照射機，包括外框架和流水線，所述流水線貫穿框架，所述外框架的內腔前后側均安裝有導向桿，兩側所述導向桿的上方活動安裝有滑行機構，所述滑行機構的本體上安裝有LED燈。

優選的，所述滑行機構包括下框架和照射板，所述下框架的上方安裝有直線導軌，所述直線導軌的上端貫穿照射板并連接有頂板，所述頂板的上方安裝有氣缸，所述氣缸的伸縮桿貫穿頂板并與照射板連接。

優選的，所述外框架的本體前后側均通過合頁連接有防護門。

優選的，所述滑行機構的左右側均設置有定位塊，所述定位塊套設在導向桿的外側。

優選的，兩側所述導向桿上的定位塊之間連接有支撐板，所述支撐板的上下側均設置有擋光板。

優選的，兩側所述導向桿的外側均設置有刻度標尺。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本裝置在框架的內腔中設置有導向桿，然后將滑行機構與導向桿活動連接，滑行機構可以帶著LED燈沿著導向桿進行移動，通過調節滑行機構的位置，可以使得當晶圓需要照射時，晶圓正好流動到滑行機構的下方，從而使得LED燈可以對晶圓進行照射解膠，進而使得UV照射機可以對不同規格的晶圓進行解膠。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為本實用新型主視圖局部剖視結構示意圖；

圖3為本實用新型滑行機構左視結構示意圖；

圖4為本實用新型定位塊左視結構示意圖。

圖中：1框架、2流水線、3防護門、4導向桿、5定位塊、6擋光板、7滑行機構、71下框架、72直線導軌、73照射板、74頂板、75氣缸、8支撐板。

具體實施方式