[實用新型]一種半導體失效芯片樣品切割加工裝置

有效

• 申請號: 202222026326.4
• 申請日: 2022-08-02
• 公開（公告）號: CN218557598U
• 公開（公告）日: 2023-03-03
• 發明（設計）人: 區炳顯;王群;謝一麟;劉崢
• 申請（專利權）人: 江蘇省特種設備安全監督檢驗研究院
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B28D5/00;H01L21/67
• 代理公司: 無錫華源專利商標事務所(普通合伙) 32228
• 代理人: 孫建

本實用新型公開了一種半導體失效芯片樣品切割加工裝置，底座的頂部一側通過伸縮氣缸安裝有頂板，頂板的頂部中心處轉動連接有調節臂，調節臂的底部轉動連接有切割刀，調節臂的頂部套接固定有齒輪環，齒輪環與滑動在頂板頂部一側的齒輪條嚙合連接，頂板的頂部安裝有與齒輪條傳動連接的調節氣缸，底座的側邊安裝有控制板，控制板電性連接伸縮氣缸、旋轉電機和調節氣缸。本實用新型調節氣缸工作，從而帶動齒輪條在頂板頂部滑動，繼而帶動齒輪環轉動，由于調節氣缸行程限制，帶動調節臂旋轉九十度，使切割刀的刃面遠離定位組件的頂部區域，降低操作人員的手指接觸到切割刀刃面的概率，提高裝置使用的安全性。

技術領域

本實用新型涉及芯片切割技術領域，具體為一種半導體失效芯片樣品切割加工裝置。

背景技術

在集成電路制造過程中，半導體襯底中有數以億計的各種半導體結構，其中有很多類似三明治的結構，比如電容結構為兩層金屬層中間夾著一層薄薄的絕緣層，又比如柵極為多晶硅層和硅襯底中間夾著氧化硅層，這兩種三明治結構中間夾層絕緣層或氧化硅層，起到的是電性隔絕的作用。但是由于工藝問題或者設計問題，三明治結構的夾層(絕緣層或氧化硅層)上會出現各種缺陷，尤其是尺寸特別微小的缺陷，造成最終半導體芯片在各種電性測試或者使用中發生失效的現象。對半導體芯片失效分析工作是確認各類失效原因，從而提升產品質量和可靠性的重要工作。

半導體芯片在失效分析前，需要對半導體芯片進行切割制樣，目前用于半導體芯片的切割裝置，芯片的切割裝置距離固定芯片的裝置過近，操作人員在安裝和拆卸芯片時，切割的刀片容易傷害到操作人員，使操作人員受傷。因此，設計一種半導體失效芯片樣品切割加工裝置是很有必要的。

實用新型內容

針對上述情況，為克服現有技術的缺陷，本實用新型提供一種半導體失效芯片樣品切割加工裝置，調節氣缸工作，從而帶動齒輪條在頂板頂部滑動，繼而帶動齒輪環轉動，由于調節氣缸行程限制，帶動調節臂旋轉九十度，使切割刀的刃面遠離定位組件的頂部區域，降低操作人員的手指接觸到切割刀刃面的概率，提高裝置使用的安全性。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種半導體失效芯片樣品切割加工裝置，包括底座，所述底座的頂部一側通過伸縮氣缸安裝有頂板，所述頂板的頂部中心處轉動連接有調節臂，所述調節臂的底部轉動連接有切割刀，所述切割刀與調節臂側邊的旋轉電機傳動連接，所述底座的頂部位于切割刀的正下方設置有定位組件，所述調節臂的頂部套接固定有齒輪環，所述齒輪環與滑動在頂板頂部一側的齒輪條嚙合連接，所述頂板的頂部安裝有與齒輪條傳動連接的調節氣缸，所述底座的側邊安裝有控制板，所述控制板電性連接伸縮氣缸、旋轉電機和調節氣缸；

所述調節臂轉動連接在頂板上開設的旋孔內部，所述旋孔上開設有限位槽，所述調節臂上固定有滑動在限位槽內部的限位柱，所述限位槽的兩端固定有行程開關，所述行程開關電性連接調節氣缸。

優選的，所述頂板的頂部一側開設有滑槽，所述齒輪條滑動連接在滑槽的內部。

優選的，所述定位組件包括定位板、內螺紋座、外螺紋旋柄、L形動夾頭和L形定夾頭；

所述定位板固定在底座的頂部，所述定位板的頂部一側安裝有L形定夾頭，所述定位板的頂部另一側固定有內螺紋座，所述內螺紋座的內部轉動連接有外螺紋旋柄，所述外螺紋旋柄轉動連接在L形動夾頭上，所述L形動夾頭滑動連接在定位板的頂部。

優選的，所述L形動夾頭和L形定夾頭的內壁粘接固定有橡膠防護墊。

優選的，所述底座的頂部位于定位組件的后方安裝有吸塵罩，所述吸塵罩通過吸塵管與吸塵器連接。

本實用新型的有益效果為：

1、調節氣缸工作，從而帶動齒輪條在頂板頂部滑動，繼而帶動齒輪環轉動，由于調節氣缸行程限制，帶動調節臂旋轉九十度，使切割刀的刃面遠離定位組件的頂部區域，降低操作人員的手指接觸到切割刀刃面的概率，提高裝置使用的安全性；