[實用新型]濕度感測結構及濕度傳感器

有效

• 申請號: 202222009760.1
• 申請日: 2022-08-01
• 公開（公告）號: CN217931511U
• 公開（公告）日: 2022-11-29
• 發明（設計）人: 李萍萍
• 申請（專利權）人: 蘇州敏芯微電子技術股份有限公司
• 主分類號: G01N27/22
• 分類號: G01N27/22
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 方世棟

本實用新型提供了一種濕度感測結構及濕度傳感器，旨在將第一濕敏電極所在的基板與第二濕敏電極所在的基板分開，并采用倒裝鍵合的方式將所述第一基板與所述第二基板之間固定連接，使得至少一個感濕介質層的與所述第一基板和第二基板平行的感濕表面與空氣直接接觸，以加快水分子擴散到感濕介質層的速度，從而提高具有該濕度感測結構的濕度傳感器響應速度。

技術領域

本實用新型涉及濕度傳感器領域，特別涉及濕度感測結構、濕度傳感器及濕度感測結構的制作方法。

背景技術

濕度反映的是大氣中在一定溫度下水汽的含量。該物理量在軍事、氣象農業、工業、醫療、建筑以及家用電器等方面均有廣泛使用。

濕度傳感器是一種能夠將濕度量轉換成可被外部設備接收及處理的電信號的裝置，包括電容式、電阻式及壓阻式等濕度傳感器，其中，電容式傳感器由于其便捷靈敏低成本的特點最為廣泛應用。電容式濕度傳感器的工作原理是：電解質吸附水汽分子后，混合介質的介電常數發生變化，從而引起電容的變化。

圖1是現有的一種濕度感測結構的剖面結構示意圖。如圖1所示，該濕度感測結構包括三明治結構，其中三明治結構因其優越的靈敏度性能得到了廣泛應用，但是該三明治結構對水汽的響應速度較慢。具體地，在該濕度感測結構中，其感濕介質層3’都是包裹在上下電極2’、4’之間的，外界水汽需要越過上電極4’形成的屏障才能進入敏感的感濕介質層3’之中，嚴重影響了具有該濕度感測結構的濕度傳感器的響應特性。

因此，需要對現有技術進行改進。

實用新型內容

本實用新型旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提供一種麥克風組件及電子設備。

本實用新型的目的采用以下技術方案實現：

根據本實用新型的一方面，提供一種濕度感測結構，包括：相對設置的第一基板和第二基板；第一濕敏電極，所述第一濕敏電極位于所述第一基板朝向所述第二基板的一側上；第二濕敏電極，所述第二濕敏電極位于所述第二基板朝向所述第一基板的一側上；至少一個感濕介質層，所述至少一個感濕介質層設于所述第一濕敏電極與所述第二濕敏電極之間；所述至少一個感濕介質層的與所述第一基板和第二基板平行的感濕表面與空氣直接接觸；其中，所述第二基板為PCB基板。

進一步地，沿垂直所述第一基板所在平面方向上，所述第一濕敏電極、所述第二濕敏電極以及所述至少一個感濕介質層的投影至少部分交疊。

可選地，所述至少一個感濕介質層僅包括一個感濕介質層，該感濕介質層位于所述第一濕敏電極背離所述第一基板的一側上并且該感濕介質層與所述第二濕敏電極之間具有空氣間隙，或者，該感濕介質層位于所述第二濕敏電極背離所述第二基板的一側上并且該感濕介質層與所述第一濕敏電極之間具有空氣間隙。

可選地，所述濕度感測結構還包括絕緣介質層；其中，在所述感濕介質層位于所述第一濕敏電極背離所述第一基板的一側上的情況下，沿垂直于所述第一基板所在平面方向上，所述絕緣介質層設置在所述感濕介質層與所述第一濕敏電極之間，或者，在所述感濕介質層位于所述第二濕敏電極背離所述第二基板的一側上的情況下，沿垂直所述第二基板所在平面方向上，所述絕緣介質層設置在所述感濕介質層與所述第二濕敏電極之間。可選地，所述至少一個感濕介質層包括第一感濕介質層和第二感濕介質層；其中，所述第一感濕介質層位于所述第一濕敏電極背離所述第一基板的一側上，所述第二感濕介質層位于所述第二濕敏電極背離所述第二基板的一側上，并且所述第一感濕介質層與所述第二感濕介質層之間具有空氣間隙。

可選地，所述濕度感測結構還包括第一絕緣介質層和第二絕緣介質層；其中，沿垂直于所述第一基板和所述第二基板所在平面方向上，所述第一絕緣介質層位于所述第一感濕介質層與所述第一濕敏電極之間，所述第二絕緣介質層位于所述第二感濕介質層與所述第二濕敏電極之間。進一步地，所述第一基板與所述第二基板之間通過鍵合結構固定連接。