[實用新型]濕度感測結(jié)構(gòu)及濕度傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222009760.1
• 申請日: 2022-08-01
• 公開（公告）號: CN217931511U
• 公開（公告）日: 2022-11-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李萍萍
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司
• 主分類號: G01N27/22
• 分類號: G01N27/22
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 方世棟

1.一種濕度感測結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

相對設(shè)置的第一基板和第二基板；

第一濕敏電極，所述第一濕敏電極位于所述第一基板朝向所述第二基板的一側(cè)上；

第二濕敏電極，所述第二濕敏電極位于所述第二基板朝向所述第一基板的一側(cè)上；

至少一個感濕介質(zhì)層，所述至少一個感濕介質(zhì)層設(shè)于所述第一濕敏電極與所述第二濕敏電極之間；

所述至少一個感濕介質(zhì)層的與所述第一基板和所述第二基板平行的感濕表面與空氣直接接觸；

其中，所述第二基板為PCB基板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濕度感測結(jié)構(gòu)，其特征在于，

沿垂直所述第一基板所在平面方向上，所述第一濕敏電極、所述第二濕敏電極以及所述至少一個感濕介質(zhì)層的投影至少部分交疊。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濕度感測結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述至少一個感濕介質(zhì)層僅包括一個感濕介質(zhì)層，該感濕介質(zhì)層位于所述第一濕敏電極背離所述第一基板的一側(cè)上并且該感濕介質(zhì)層與所述第二濕敏電極之間具有空氣間隙，或者，該感濕介質(zhì)層位于所述第二濕敏電極背離所述第二基板的一側(cè)上并且該感濕介質(zhì)層與所述第一濕敏電極之間具有空氣間隙。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的濕度感測結(jié)構(gòu)，其特征在于，

包括絕緣介質(zhì)層；

其中，在所述感濕介質(zhì)層位于所述第一濕敏電極背離所述第一基板的一側(cè)上的情況下，沿垂直于所述第一基板所在平面方向上，所述絕緣介質(zhì)層設(shè)置在所述感濕介質(zhì)層與所述第一濕敏電極之間，或者，在所述感濕介質(zhì)層位于所述第二濕敏電極背離所述第二基板的一側(cè)上的情況下，沿垂直所述第二基板所在平面方向上，所述絕緣介質(zhì)層設(shè)置在所述感濕介質(zhì)層與所述第二濕敏電極之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濕度感測結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述至少一個感濕介質(zhì)層包括第一感濕介質(zhì)層和第二感濕介質(zhì)層；

其中，所述第一感濕介質(zhì)層位于所述第一濕敏電極背離所述第一基板的一側(cè)上，所述第二感濕介質(zhì)層位于所述第二濕敏電極背離所述第二基板的一側(cè)上，并且所述第一感濕介質(zhì)層與所述第二感濕介質(zhì)層之間具有空氣間隙。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的濕度感測結(jié)構(gòu)，其特征在于，

包括第一絕緣介質(zhì)層和第二絕緣介質(zhì)層；

其中，沿垂直于所述第一基板和所述第二基板所在平面方向上，所述第一絕緣介質(zhì)層位于所述第一感濕介質(zhì)層與所述第一濕敏電極之間，所述第二絕緣介質(zhì)層位于所述第二感濕介質(zhì)層與所述第二濕敏電極之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濕度感測結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述第一基板與所述第二基板之間通過鍵合結(jié)構(gòu)固定連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的濕度感測結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述鍵合結(jié)構(gòu)包括：

至少一個第一導(dǎo)電凸塊，每個所述第一導(dǎo)電凸塊位于所述第一基板朝向所述第二基板的一側(cè)；

至少一個第二導(dǎo)電凸塊，每個所述第二導(dǎo)電凸塊位于所述第二基板朝向所述第一基板的一側(cè)；

其中，所述至少一個第一導(dǎo)電凸塊與所述至少一個第二導(dǎo)電凸塊一一對應(yīng)并鍵合，并且在垂直于所述第一基板所在平面上，每個所述第一導(dǎo)電凸塊的投影與每個所述第二導(dǎo)電凸塊的投影部分交疊。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的濕度感測結(jié)構(gòu)，其特征在于，

每個所述第一導(dǎo)電凸塊與對應(yīng)的每個所述第二導(dǎo)電凸塊之間通過導(dǎo)電焊球鍵合。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的濕度感測結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述第一濕敏電極與對應(yīng)的每個所述第一導(dǎo)電凸塊之間通過走線電連接，所述第二濕敏電極與對應(yīng)的通孔電連接結(jié)構(gòu)之間通過走線電連接。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的濕度感測結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述第二基板上設(shè)置有兩個通孔電連接結(jié)構(gòu)，其中一個所述通孔電連接結(jié)構(gòu)通過走線與所述第二濕敏電極電連接，另一個所述通孔電連接結(jié)構(gòu)通過走線與所述第二導(dǎo)電凸塊電連接。