[實用新型]半導體器件測試用連接裝置及半導體器件測試系統

有效

• 申請號: 202221695947.5
• 申請日: 2022-07-01
• 公開（公告）號: CN217639210U
• 公開（公告）日: 2022-10-21
• 發明（設計）人: 王生;張松鶴;李翔
• 申請（專利權）人: 通富微電子股份有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 北京中知法苑知識產權代理有限公司 11226
• 代理人: 李明;趙吉陽

本實用新型涉及半導體封裝測試技術領域，提供一種半導體器件測試用連接裝置及半導體器件測試系統，其中，連接裝置包括滑座、滑塊和限位組件；滑座用于與裝載板固定連接，滑塊用于與把手固定連接，把手用于將裝載板裝載至測試設備；滑座設置有滑槽，滑塊形狀與滑槽形狀相匹配，滑塊滑動設置在滑槽中；限位組件相配合地設置在滑座和滑塊上，以將滑塊的移動范圍限制在滑槽的第一位置和第二位置之間，以使得裝載板在裝載位置和檢測位置之間進行切換。本實用新型結構簡單，摒棄了傳統半導體器件測試用連接裝置中的鋼珠結構，有效解決了鋼珠偏離軌道而蹦出造成的設備內部短路、板卡損壞或燒毀的問題，降低了維修成本和測試成本，提高了測試效率。

技術領域

本實用新型屬于半導體封裝測試技術領域，具體涉及一種半導體器件測試用連接裝置及半導體器件測試系統。

背景技術

傳統的半導體器件測試用連接裝置，通常采用U型凹槽鋁管結合條狀鋁塊并通過內嵌細小鋼珠的軌道實現裝載板與測試設備的結合，從而完成裝載板與測試設備的裝載。

然而，上述連接裝置中的條狀鋁塊在裝載板與測試設備裝載的過程中會經歷上下活動，且在條狀鋁塊活動過程中，軌道內嵌的細小鋼珠極易偏離軌道而蹦出，從而造成設備內部短路，致使板卡損壞或者燒毀。由于板卡的集成度較高，損壞的板卡只能通過供應商進行維修，不僅維修成本較高，還提高了測試成本。

此外，U型凹槽鋁管的腹部極易磨損，且磨損后的U型凹槽鋁管會阻礙條狀鋁塊的上下活動，導致無法完成裝載板與測試設備的裝載，從而無法實現對半導體器件的測試。并且，磨損后的U

型凹槽鋁管無法修復，只能更換，這將使得對半導體進行測試的成本較高。

實用新型內容

本實用新型旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提供一種半導體器件測試用連接裝置及半導體器件測試系統。

本實用新型的一方面，提供一種半導體器件測試用連接裝置，包括滑座、滑塊和限位組件；

所述滑座用于與裝載板固定連接，所述滑塊用于與把手固定連接，所述把手用于將所述裝載板裝載至測試設備；

所述滑座設置有滑槽，所述滑塊形狀與所述滑槽形狀相匹配，所述滑塊滑動設置在所述滑槽中；

所述限位組件相配合地設置在所述滑座和所述滑塊上，以將所述滑塊的移動范圍限制在所述滑槽的第一位置和第二位置之間，以使得所述裝載板在裝載位置和檢測位置之間進行切換。

可選的，所述限位組件包括限位槽和阻擋件，所述阻擋件可移動地設置在所述限位槽中；

所述滑座和所述滑塊中的一者上設置有所述限位槽，所述滑座和所述滑塊中的另一者上設置有所述阻擋件。

可選的，所述滑槽底壁設置有所述限位槽，所述滑塊設置有貫穿其厚度的安裝孔；

所述阻擋件穿過所述安裝孔至所述限位槽中。

可選的，所述滑槽的底部橫截面尺寸大于其頂部橫截面尺寸。

可選的，所述滑槽的橫截面尺寸自其底部向頂部依次遞減。

可選的，所述滑槽的橫截面為梯形。

可選的，所述滑座上設置有多個第一固定通孔，以通過穿設在所述第一固定通孔中的第一緊固件與所述裝載板固定連接。

可選的，所述第一固定通孔設置在所述滑槽內；所述第一緊固件完全收容在所述第一固定通孔中。

可選的，所述滑塊設置有多個第二固定通孔，以容置所述把手上的凸起。

本實用新型的另一方面，提供一種半導體器件測試系統，包括測試設備、裝載板以及前文記載的半導體器件測試用連接裝置；