[實用新型]半導體器件測試用連接裝置及半導體器件測試系統

有效

• 申請號: 202221695947.5
• 申請日: 2022-07-01
• 公開（公告）號: CN217639210U
• 公開（公告）日: 2022-10-21
• 發明（設計）人: 王生;張松鶴;李翔
• 申請（專利權）人: 通富微電子股份有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 北京中知法苑知識產權代理有限公司 11226
• 代理人: 李明;趙吉陽

1.一種半導體器件測試用連接裝置，其特征在于，所述連接裝置包括滑座、滑塊和限位組件；

所述滑座用于與裝載板固定連接，所述滑塊用于與把手固定連接，所述把手用于將所述裝載板裝載至測試設備；

所述滑座設置有滑槽，所述滑塊形狀與所述滑槽形狀相匹配，所述滑塊滑動設置在所述滑槽中；

所述限位組件相配合地設置在所述滑座和所述滑塊上，以將所述滑塊的移動范圍限制在所述滑槽的第一位置和第二位置之間，以使得所述裝載板在裝載位置和檢測位置之間進行切換。

2.根據權利要求1所述的連接裝置，其特征在于，所述限位組件包括限位槽和阻擋件，所述阻擋件可移動地設置在所述限位槽中；

所述滑座和所述滑塊中的一者上設置有所述限位槽，所述滑座和所述滑塊中的另一者上設置有所述阻擋件。

3.根據權利要求2所述的連接裝置，其特征在于，所述滑槽底壁設置有所述限位槽，所述滑塊設置有貫穿其厚度的安裝孔；

所述阻擋件穿過所述安裝孔至所述限位槽中。

4.根據權利要求1至3任一項所述的連接裝置，其特征在于，所述滑槽的底部橫截面尺寸大于其頂部橫截面尺寸。

5.根據權利要求4所述的連接裝置，其特征在于，所述滑槽的橫截面尺寸自其底部向頂部依次遞減。

6.根據權利要求5所述的連接裝置，其特征在于，所述滑槽的橫截面為梯形。

7.根據權利要求1至3任一項所述的連接裝置，其特征在于，所述滑座上設置有多個第一固定通孔，以通過穿設在所述第一固定通孔中的第一緊固件與所述裝載板固定連接。

8.根據權利要求7所述的連接裝置，其特征在于，

所述第一固定通孔設置在所述滑槽內；所述第一緊固件完全收容在所述第一固定通孔中。

9.根據權利要求1至3任一項所述的連接裝置，其特征在于，所述滑塊設置有多個第二固定通孔，以容置所述把手上的凸起。

10.一種半導體器件測試系統，其特征在于，所述測試系統包括測試設備、裝載板以及權利要求1至9任一項所述的連接裝置；

所述滑座與所述裝載板固定連接，所述滑塊與把手固定連接，所述把手用于將所述裝載板裝載至所述測試設備。