[實用新型]一種帶有清潔功能的真空手臂有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202221637322.3 | 申請日： | 2022-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN217588890U | 公開（公告）日： | 2022-10-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王瑞華;章程;朱帥;董國慶;文國昇;金從龍 | 申請（專利權(quán)）人： | 江西兆馳半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/683 | 分類號： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 何世磊 |
| 地址： | 330096 江西省南昌市南*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 帶有 清潔 功能 真空 手臂 | ||
1.一種帶有清潔功能的真空手臂，包括手臂板，其特征在于：所述手臂板一端設(shè)有直臂，另一端設(shè)有兩個延伸臂，所述延伸臂下端面貼附設(shè)有吸附層，所述延伸臂上貫穿設(shè)有多個操作孔，每個所述操作孔上設(shè)有吸嘴，所述直臂上端面設(shè)有正壓電磁閥、負壓電磁閥，所述正壓電磁閥、所述負壓電磁閥的輸入端分別通過氣管連接于壓縮泵、真空泵，所述正壓電磁閥、所述負壓電磁閥的輸出端分別通過氣管連接于四通管的兩個輸入端，所述四通管的兩個輸出端分別通過氣管連接于兩個所述吸嘴。
2.如權(quán)利要求1所述的帶有清潔功能的真空手臂，其特征在于：所述手臂板為Y形平板。
3.如權(quán)利要求1所述的帶有清潔功能的真空手臂，其特征在于：所述吸附層采用聚四氟乙烯材質(zhì)制成。
4.如權(quán)利要求1所述的帶有清潔功能的真空手臂，其特征在于：所述吸嘴與所述吸附層的下端面齊平。
5.如權(quán)利要求1所述的帶有清潔功能的真空手臂，其特征在于：所述負壓電磁閥與所述真空泵之間的連接管路設(shè)有真空計。
6.如權(quán)利要求1所述的帶有清潔功能的真空手臂，其特征在于：二個所述吸嘴下方吸附設(shè)有晶圓，二個所述吸嘴的連接線與所述晶圓中心線重合。
7.如權(quán)利要求1所述的帶有清潔功能的真空手臂，其特征在于：所述吸附層呈U形。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
