[實用新型]一種晶圓級產(chǎn)品貼膜治具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202221635148.9
• 申請日: 2022-06-28
• 公開（公告）號: CN217606788U
• 公開（公告）日: 2022-10-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鐘小輝;費偉華
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇芯德半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 無錫華越知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32571
• 代理人: 朱錦國

本實用新型公開了一種晶圓級產(chǎn)品貼膜治具，包括底座、載板和定位框，載板放置于底座上，載板上貼附有膜，定位框安裝于底座上，定位框設(shè)有鏤空部、以暴露出用于貼合晶圓級產(chǎn)品的膜，定位框的鏤空部邊緣覆蓋住膜的邊緣和載板的邊緣，底座設(shè)有定位針以定位載板，底座設(shè)有定位銷以定位定位框，底座設(shè)有方向標(biāo)識，定位框設(shè)有凹口指示桿，凹口指示桿位于方向標(biāo)識所在側(cè)，晶圓級產(chǎn)品設(shè)有凹口，晶圓級產(chǎn)品貼合于膜時、凹口對準(zhǔn)凹口指示桿。本實用新型適用于小批量實驗，該晶圓級產(chǎn)品貼膜治具的底座、載板、定位框有定位，底座、定位框和晶圓級產(chǎn)品有方向表示，可快速、精確地完成晶圓級產(chǎn)品的貼合作業(yè)，能夠提高工作效率，降低成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域，更具體涉及一種晶圓級產(chǎn)品貼膜治具。

背景技術(shù)

晶圓級封裝(WLP，Wafer Level Package)以晶圓為加工對象，在晶圓上同時對眾多芯片進(jìn)行封裝、測試，然后切割成單個器件。晶圓級封裝中，需要將不滿足目標(biāo)尺寸的晶圓級產(chǎn)品通過塑封或再塑封工藝，使其達(dá)到目標(biāo)尺寸。為了支撐晶圓，在塑封之前需要執(zhí)行轉(zhuǎn)貼工序，即，將晶圓上的產(chǎn)品正面通過膜貼在載板上，之后進(jìn)行塑封。轉(zhuǎn)貼工序的操作步驟如下：第一步：將膜貼在載板上；第二步：將晶圓級產(chǎn)品貼在膜上。

現(xiàn)有自動貼膜機適用于大批量生產(chǎn)，不適用于小批量實驗。目前，對于小批量實驗，都是采用手動將膜貼在載板上，再將晶圓級產(chǎn)品貼裝到膜上，貼裝位置不準(zhǔn)確。

因此，急需研究出一種適用于小批量實驗的貼膜治具。

實用新型內(nèi)容

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種晶圓級產(chǎn)品貼膜治具，適用于小批量實驗，可快速精確的將晶圓級產(chǎn)品貼合到貼附有膜的載板上，能夠降低成本，提高效率。

根據(jù)本實用新型的一個方面，提供了一種晶圓級產(chǎn)品貼膜治具，包括底座、載板和定位框，載板放置于底座上，載板上貼附有膜，定位框安裝于底座上，定位框設(shè)有鏤空部、以暴露出用于貼合晶圓級產(chǎn)品的膜，定位框的鏤空部邊緣覆蓋住膜的邊緣和載板的邊緣。由此，貼附有膜的載板被定位框和底座夾持固定住，然后再將晶圓級產(chǎn)品貼合于位置不變的膜上，這樣，方便快速地貼合晶圓級產(chǎn)品，提高工作效率。

在一些實施方式中，底座設(shè)有方向標(biāo)識，定位框設(shè)有凹口指示桿，凹口指示桿位于方向標(biāo)識所在側(cè)，晶圓級產(chǎn)品設(shè)有凹口，晶圓級產(chǎn)品貼合于膜時、凹口對準(zhǔn)凹口指示桿。由此，通過方向標(biāo)識和凹口指示桿，便于定位框安裝時快速識別方向，利用凹口與凹口指示桿對齊，便于晶圓級產(chǎn)品貼合于膜時快速識別方向并精準(zhǔn)對位，提高晶圓級產(chǎn)品貼合的精確性。

在一些實施方式中，底座設(shè)有定位銷，定位框設(shè)有與定位銷相配合的定位銷孔，底座設(shè)有定位針，載板設(shè)有與定位針相配合的定位針孔一。由此，定位針用于定位載板，定位銷用于定位定位框，確保載板和定位框安裝后不會移動，提高晶圓級產(chǎn)品貼合時的精準(zhǔn)度。

在一些實施方式中，定位框設(shè)有與定位針相配合的定位針孔二。由此，當(dāng)載板放置于底座后，定位針的頂部突出于載板，定位針的突出部分被收容于定位框的定位針孔二內(nèi)，以避免定位針的頂部頂起定位框。

在一些實施方式中，定位框設(shè)有多處鏤空區(qū)，鏤空區(qū)分布于鏤空部的外圍。由此，設(shè)置鏤空區(qū)，可以減輕定位框的重量。

在一些實施方式中，定位框設(shè)有一對把手，把手對稱設(shè)于鏤空部的兩側(cè)。由此，便于拆裝定位框，方便操作人員作業(yè)。

在一些實施方式中，底座設(shè)有朝向底座中間凹陷的凹陷部，凹陷部至少設(shè)有兩處、且相對于底座中心呈對稱設(shè)置。由此，對稱設(shè)置的凹陷部，方便手動取放載板。

在一些實施方式中，載板為鋼板。

在一些實施方式中，膜為熱剝離膜，膜的外徑大于晶圓級產(chǎn)品的外徑至少0.5㎜，膜的厚度不小于晶圓級產(chǎn)品的厚度的一半。