[實用新型]一種晶圓級產品貼膜治具

有效

• 申請號: 202221635148.9
• 申請日: 2022-06-28
• 公開（公告）號: CN217606788U
• 公開（公告）日: 2022-10-18
• 發明（設計）人: 鐘小輝;費偉華
• 申請（專利權）人: 江蘇芯德半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 無錫華越知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32571
• 代理人: 朱錦國

1.一種晶圓級產品貼膜治具，其特征在于，包括底座(1)、載板(2)和定位框(4)，所述載板(2)放置于底座(1)上，所述載板(2)上貼附有膜(3)，所述定位框(4)安裝于底座(1)上，所述定位框(4)設有鏤空部(41)、以暴露出用于貼合晶圓級產品(5)的膜(3)，所述定位框(4)的鏤空部(41)邊緣覆蓋住膜(3)的邊緣和載板(2)的邊緣。

2.根據權利要求1所述的晶圓級產品貼膜治具，其特征在于，所述底座(1)設有方向標識(11)，所述定位框(4)設有凹口指示桿(42)，所述凹口指示桿(42)位于方向標識(11)所在側，所述晶圓級產品(5)設有凹口(51)，所述晶圓級產品(5)貼合于膜(3)時、所述凹口(51)對準凹口指示桿(42)。

3.根據權利要求2所述的晶圓級產品貼膜治具，其特征在于，所述底座(1)設有定位銷(12)，所述定位框(4)設有與定位銷(12)相配合的定位銷孔(43)，所述底座(1)設有定位針(13)，所述載板(2)設有與定位針(13)相配合的定位針孔一(21)。

4.根據權利要求3所述的晶圓級產品貼膜治具，其特征在于，所述定位框(4)設有與定位針(13)相配合的定位針孔二(46)。

5.根據權利要求1所述的晶圓級產品貼膜治具，其特征在于，所述定位框(4)設有多處鏤空區(44)，所述鏤空區(44)分布于鏤空部(41)的外圍。

6.根據權利要求5所述的晶圓級產品貼膜治具，其特征在于，所述定位框(4)設有一對把手(45)，所述把手(45)對稱設于鏤空部(41)的兩側。

7.根據權利要求1所述的晶圓級產品貼膜治具，其特征在于，所述底座(1)設有朝向底座(1)中間凹陷的凹陷部(14)，所述凹陷部(14)至少設有兩處、且相對于底座(1)中心呈對稱設置。

8.根據權利要求1所述的晶圓級產品貼膜治具，其特征在于，所述載板(2)為鋼板。

9.根據權利要求1所述的晶圓級產品貼膜治具，其特征在于，所述膜(3)為熱剝離膜，所述膜(3)的外徑大于晶圓級產品(5)的外徑至少0.5㎜，所述膜(3)的厚度不小于晶圓級產品(5)的厚度的一半。