[實用新型]磁體位置可調(diào)節(jié)的物理氣相沉積設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202221631627.3
• 申請日: 2022-06-28
• 公開（公告）號: CN217628599U
• 公開（公告）日: 2022-10-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 禪明;王金;黃善發(fā);李靖
• 申請（專利權(quán)）人: 盛吉盛半導(dǎo)體科技（無錫）有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/54
• 代理公司: 上海市匯業(yè)律師事務(wù)所 31325
• 代理人: 王函

1.一種磁體位置可調(diào)節(jié)的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，包括設(shè)于腔體外側(cè)的傳動裝置承載機構(gòu)及設(shè)于腔體內(nèi)側(cè)的磁體組件；其中，傳動裝置承載機構(gòu)包括：

軸承座，固定于所述腔體上側(cè)；

調(diào)心軸承，安裝于所述軸承座的中心孔內(nèi)，且所述調(diào)心軸承與所述軸承座同軸設(shè)置；

軸承端蓋，安裝于所述軸承座上側(cè)，以限制所述調(diào)心軸承軸向移動；

浮動板，用于承載傳動裝置，所述浮動板上包括數(shù)個分布于所述浮動板外圍的第一螺紋孔及第一通孔；

數(shù)個第一螺釘分別從所述浮動板的上側(cè)穿過對應(yīng)的所述第一螺紋孔與所述軸承端蓋的上頂面相抵接觸；數(shù)個第二螺釘分別從所述浮動板的上側(cè)穿過對應(yīng)的所述第一通孔與所述軸承端蓋螺紋連接，并由所述第二螺釘壓緊設(shè)于所述浮動板與所述軸承端蓋之間的第一彈性元件；

轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的第一端依次穿過所述浮動板、軸承端蓋、調(diào)心軸承及所述腔體上的第二通孔與連接磁體組件的夾套相連接，所述轉(zhuǎn)軸的第二端與所述傳動裝置相連接；

第二彈性元件，頂撐于所述調(diào)心軸承與所述夾套之間，且所述第二彈性元件套設(shè)于所述轉(zhuǎn)軸上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁體位置可調(diào)節(jié)的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸上設(shè)有球形區(qū)段，所述軸承端蓋上設(shè)有與所述球形區(qū)段對應(yīng)的凹槽，所述球形區(qū)段設(shè)于所述凹槽內(nèi)，且所述球形區(qū)段與所述凹槽的側(cè)壁間設(shè)有第一密封圈。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁體位置可調(diào)節(jié)的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述腔體上設(shè)有沉孔，所述軸承座設(shè)于所述沉孔內(nèi)，且所述軸承座通過第三螺釘與所述腔體固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁體位置可調(diào)節(jié)的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述沉孔內(nèi)設(shè)有沉槽，所述沉槽內(nèi)設(shè)有第二密封圈；

所述軸承座與所述軸承端蓋之間設(shè)有第三密封圈。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁體位置可調(diào)節(jié)的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述磁體位置可調(diào)節(jié)的物理氣相沉積設(shè)備還包括傳動裝置支撐板及至少三個支撐桿；

所述浮動板通過所述支撐桿與所述傳動裝置支撐板相連接，所述傳動裝置支撐板用于承載所述傳動裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的磁體位置可調(diào)節(jié)的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述支撐桿的第一端設(shè)有外螺紋，所述支撐桿的第二端設(shè)有內(nèi)螺紋；

所述浮動板上設(shè)有數(shù)量與所述支撐桿相同的數(shù)個凸塊，各個所述凸塊內(nèi)設(shè)有第二螺紋孔，各所述支撐桿的第一端與對應(yīng)的所述凸塊內(nèi)的所述第二螺紋孔螺紋連接；

所述傳動裝置支撐板上設(shè)有數(shù)量與所述支撐桿相同的數(shù)個第三通孔；

所述磁體位置可調(diào)節(jié)的物理氣相沉積設(shè)備還包括數(shù)量與所述支撐桿相同的數(shù)個第四螺釘，各所述第四螺釘依次穿過對應(yīng)的彈性墊圈、平墊圈及所述第三通孔后與對應(yīng)的所述支撐桿的第二端內(nèi)的內(nèi)螺紋螺紋連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的磁體位置可調(diào)節(jié)的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述傳動裝置包括電機、減速機及聯(lián)軸器；

所述電機與所述減速機組合緊固后通過緊固件安裝于所述傳動裝置支撐板的中心通孔處，所述減速機通過所述聯(lián)軸器與所述轉(zhuǎn)軸的第二端傳動連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磁體位置可調(diào)節(jié)的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述轉(zhuǎn)軸上還套設(shè)有推力球軸承，所述推力球軸承通過螺母安裝于所述浮動板上方。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁體位置可調(diào)節(jié)的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述浮動板上包括三個均勻分布的第一螺紋孔及三個均勻分布的第一通孔，且所述第一螺紋孔與所述第一通孔交錯分布。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁體位置可調(diào)節(jié)的物理氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述第一彈性元件由橡膠墊構(gòu)成，所述第二彈性元件由彈簧構(gòu)成。