[實用新型]一種MOCVD過濾器及尾氣處理系統

有效

• 申請號: 202221624256.6
• 申請日: 2022-06-27
• 公開（公告）號: CN217613698U
• 公開（公告）日: 2022-10-21
• 發明（設計）人: 張龍;宋偉
• 申請（專利權）人: 江西耀馳科技有限公司
• 主分類號: B01D46/52
• 分類號: B01D46/52;B01D46/30
• 代理公司: 南昌旭瑞知識產權代理事務所(普通合伙) 36150
• 代理人: 彭琰

本實用新型公開了一種MOCVD過濾器及尾氣處理系統，涉及尾氣處理技術領域，該MOCVD過濾器包括第一殼體、第二殼體以及設于第一殼體與第二殼體之間的濾芯；濾芯包括金屬網以及被金屬網包裹的濾材，金屬網和濾材均為折疊型結構；第一殼體的邊緣于靠近濾芯一側設有第一凹槽，第一殼體中部貫穿設有通孔，第一殼體于通孔朝向遠離濾芯的一側延伸出一進氣管，用于尾氣通過進氣管進氣進行過濾；第二殼體的邊緣于靠近濾芯一側設有第二凹槽，第一凹槽以及第二凹槽分別卡接濾芯的兩端以固定濾芯。本實用新型能夠解決現有技術中濾芯匝數少、易變形以及外壁會殘留副產物，導致濾芯壽命短、密封效果差及存在安全隱患的技術問題。

技術領域

本實用新型涉及尾氣處理技術領域，具體涉及一種MOCVD過濾器及尾氣處理系統。

背景技術

MOCVD是指金屬有機化學氣相沉積工藝(Metal-organic Chemical VaporDeposition),以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料，以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延，生長各種Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶或者多晶材料。通常MOCVD工藝大部分都涉及到使用有毒材料、易燃易爆材料或腐蝕性原材料，有些物質分解后會在MOCVD的真空反應腔室內或真空排氣管道內產生大量沉積，因此，對MOCVD工藝反應的尾氣進行過濾尤為重要。

目前比較常見的MOCVD工藝反應的尾氣過濾器為多根小濾芯并聯，尾氣由濾芯外部向內部流動，副產物殘留在濾芯外部，但是，過濾濾芯由于濾芯匝數少導致過濾面積小，壽命短；其次，過濾濾芯側邊無支撐拆裝時易變形，導致密封效果差，過濾效果差，最后，過濾濾芯外壁會殘留副產物，副產物一般為有毒材料、易燃易爆材料或腐蝕性原材料，更換過程中易產生安全隱患。

因此，現有的MOCVD過濾器普遍存在濾芯匝數少、易變形以及外壁會殘留副產物，導致濾芯壽命短、密封效果差及存在安全隱患的技術問題。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型的目的在于一種MOCVD過濾器及尾氣處理系統，旨在解決現有技術中濾芯匝數少、易變形以及外壁會殘留副產物，導致濾芯壽命短、密封效果差及存在安全隱患的技術問題。

本實用新型的一方面在于提供一種MOCVD過濾器，所述MOCVD過濾器包括：

第一殼體、第二殼體以及設于所述第一殼體與所述第二殼體之間的濾芯；

所述濾芯包括金屬網以及被所述金屬網包裹的濾材，所述金屬網和所述濾材均為折疊型結構；

所述第一殼體的邊緣于靠近所述濾芯一側設有第一凹槽，所述第一殼體中部貫穿設有通孔，所述第一殼體于所述通孔朝向遠離所述濾芯的一側延伸出一進氣管，用于尾氣通過所述進氣管進氣進行過濾；

所述第二殼體的邊緣于靠近所述濾芯一側設有第二凹槽，所述第一凹槽以及所述第二凹槽分別卡接所述濾芯的兩端以固定所述濾芯。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果在于：通過本實用新型提供的 MOCVD過濾器，通過金屬網包裹濾材以固定濾材，裝卸時不易變形，密封效果好，過濾效果好，同時，金屬網和濾材均為折疊型結構，過濾面積增大，濾芯匝數多，延長MOCVD過濾器的壽命，進氣管將會收集副產物，減少副產物殘留于濾芯中，增加濾芯的壽命，避免尾氣由濾芯外部向內部流動，副產物殘留在濾芯外部，導致更換時產生安全隱患。進氣管卡接于MOCVD設備內，密封效果良好，避免尾氣泄露，導致MOCVD過濾器過濾效果差，從而解決了現有技術中濾芯匝數少、易變形以及外壁會殘留副產物，導致濾芯壽命短、密封效果差及存在安全隱患的技術問題。

根據上述技術方案的一方面，所述濾芯呈筒狀設置，所述金屬網包括第一金屬網以及第二金屬網，所述第一金屬網包裹所述濾材的內壁，所述第二金屬網包裹所述濾材的外壁。