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[實用新型]一種MOCVD過濾器及尾氣處理系統(tǒng)有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202221624256.6 申請日: 2022-06-27
公開(公告)號: CN217613698U 公開(公告)日: 2022-10-21
發(fā)明(設(shè)計)人: 張龍;宋偉 申請(專利權(quán))人: 江西耀馳科技有限公司
主分類號: B01D46/52 分類號: B01D46/52;B01D46/30
代理公司: 南昌旭瑞知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 36150 代理人: 彭琰
地址: 330000 江西省南昌市南昌*** 國省代碼: 江西;36
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 mocvd 過濾器 尾氣 處理 系統(tǒng)
【權(quán)利要求書】:

1.一種MOCVD過濾器,其特征在于,所述MOCVD過濾器包括:

第一殼體、第二殼體以及設(shè)于所述第一殼體與所述第二殼體之間的濾芯;

所述濾芯包括金屬網(wǎng)以及被所述金屬網(wǎng)包裹的濾材,所述金屬網(wǎng)和所述濾材均為折疊型結(jié)構(gòu);

所述第一殼體的邊緣于靠近所述濾芯一側(cè)設(shè)有第一凹槽,所述第一殼體中部貫穿設(shè)有通孔,所述第一殼體于所述通孔朝向遠離所述濾芯的一側(cè)延伸出一進氣管,用于尾氣通過所述進氣管進氣進行過濾;

所述第二殼體的邊緣于靠近所述濾芯一側(cè)設(shè)有第二凹槽,所述第一凹槽以及所述第二凹槽分別卡接所述濾芯的兩端以固定所述濾芯。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOCVD過濾器,其特征在于,所述濾芯呈筒狀設(shè)置,所述金屬網(wǎng)包括第一金屬網(wǎng)以及第二金屬網(wǎng),所述第一金屬網(wǎng)包裹所述濾材的內(nèi)壁,所述第二金屬網(wǎng)包裹所述濾材的外壁。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOCVD過濾器,其特征在于,所述進氣管包括第一進氣部及與所述第一進氣部連接的第二進氣部,所述第一進氣部連接所述第一殼體,所述第二進氣部的直徑自靠近所述第一進氣部的一側(cè)至遠離所述第一進氣部的一側(cè)逐漸變小。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MOCVD過濾器,其特征在于,所述第二進氣部上套設(shè)有一密封件。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOCVD過濾器,其特征在于,所述第二殼體朝向所述濾芯的一側(cè)設(shè)有用于對所述濾芯進行定位的定位件,所述濾芯朝向所述第二殼體的一側(cè)設(shè)有用于匹配所述定位件的定位凹槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的MOCVD過濾器,其特征在于,所述定位件包括第一定位部及與所述第一定位部交叉連接的第二定位部,所述第一定位部與所述第二定位部的兩端分別卡入所述濾芯側(cè)面的定位凹槽內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOCVD過濾器,其特征在于,所述金屬網(wǎng)與所述濾材形成折疊狀的折數(shù)為20-100。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOCVD過濾器,其特征在于,所述第二殼體于遠離所述濾芯的一側(cè)設(shè)有手持件。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MOCVD過濾器,其特征在于,所述濾材的材質(zhì)包括玻璃纖維、金屬絲、PP棉以及聚氯乙烯的中一種或任意組合。

10.一種尾氣處理系統(tǒng),其特征在于,該尾氣處理系統(tǒng)包括權(quán)利要求1-9任一項所述的MOCVD過濾器。

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