[實用新型]一種刻蝕處理裝置

有效

• 申請號: 202221509373.8
• 申請日: 2022-06-14
• 公開（公告）號: CN218178142U
• 公開（公告）日: 2022-12-30
• 發明（設計）人: 孫書雄;劉旭華;管昌新;張銳;李劍
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: F16L3/22
• 分類號: F16L3/22;F16B39/24;H01L21/311
• 代理公司: 北京恒博知識產權代理有限公司 11528
• 代理人: 張琦

1.一種刻蝕處理裝置，其特征在于，包括：

第一槽體，具有第一容納腔；

進液管道，設置在所述第一容納腔中；

連接件，所述進液管道通過所述連接件與所述第一槽體連接；

第一墊片，所述第一墊片的至少部分位于所述連接件與所述進液管道之間，所述第一墊片與所述連接件以及所述進液管道觸接。

2.根據權利要求1所述的刻蝕處理裝置，其特征在于，所述第一槽體的內壁上設置有支撐結構，所述進液管道與所述支撐結構可拆卸連接。

3.根據權利要求2所述的刻蝕處理裝置，其特征在于，所述連接件包括螺栓與螺帽，所述螺栓貫穿所述進液管道且與所述支撐結構螺紋連接；所述第一墊片包括第一部分，所述第一部分位于所述連接件與所述進液管道之間，所述第一部分設置有供螺栓穿過的開孔。

4.根據權利要求3所述的刻蝕處理裝置，其特征在于，所述支撐結構位于所述進液管道遠離所述第一部分的一側，所述處理裝置還包括第二墊片，所述第二墊片設置于所述進液管道與所述支撐結構之間，所述第二墊片與所述進液管道以及所述支撐結構觸接。

5.根據權利要求4所述的刻蝕處理裝置，其特征在于，所述第一墊片還包括第二部分，所述第二部分套接于所述第二墊片的外側，且所述第二部分與所述第二墊片抵接，所述第一部分與所述第二部分連接。

6.根據權利要求5所述的刻蝕處理裝置，其特征在于，所述第一墊片和所述第二墊片中的一者為聚四氟乙烯墊片，所述第一墊片和所述第二墊片中的另一者為橡膠墊片。

7.根據權利要求1所述的刻蝕處理裝置，其特征在于，所述處理裝置還包括第二槽體，所述第二槽體具有第二容納腔，所述第一槽體設置在所述第二容納腔中，且所述進液管道具有進液口，所述進液口與所述第二容納腔連通。

8.根據權利要求7所述的刻蝕處理裝置，其特征在于，所述第一槽體包括合圍形成所述第一容納腔的第一側板，所述第二槽體包括合圍形成所述第二容納腔的第二側板，所述第一側板的高度低于所述第二側板的高度。

9.根據權利要求7所述的刻蝕處理裝置，其特征在于，所述進液管道設置在所述第一槽體的底部，所述進液管道上設置有噴嘴，所述噴嘴與所述進液管道連通。

10.根據權利要求9所述的刻蝕處理裝置，其特征在于，所述進液管道設置有多條，且每條所述進液管道上設置有多個所述噴嘴。